[实用新型]一种翘曲晶圆承载装置

权利要求书

1.一种翘曲晶圆承载装置，其特征在于，包括：

承载台(1)，适用于承载翘曲晶圆(100)；

顶针组件(2)，设置在承载台(1)的封闭中空腔内，所述顶针组件(2)包括至少一个顶针(21)，所述顶针(21)的吸嘴端可供穿出所述中空腔的顶壁并对所述翘曲晶圆(100)底面进行吸附；

限位机构，包括沿所述承载台(1)周向分布设置的多个限位组件(3)，所述多个限位组件(3)适于配合抵挡在所述翘曲晶圆(100)的周沿上以对所述翘曲晶圆(100)进行限位，所述限位组件(3)包括滑动限位件(31)和设置在所述滑动限位件(31)上的压力传感器(32)，所述滑动限位件(31)设置在所述承载台(1)上且可沿所述承载台(1)作径向滑动，适于靠近并抵挡在所述翘曲晶圆(100)的周沿上。

2.根据权利要求1所述的翘曲晶圆承载装置，其特征在于，还包括：

密封环(4)，所述密封环(4)同心设置在所述承载台(1)的顶壁上，所述密封环(4)适于与所述翘曲晶圆(100)的底面、以及所述承载台(1)的顶面之间形成密封腔，所述密封腔与设置在所述承载台(1)上的抽真空通道(11)相连通，适于对所述密封腔进行抽真空；

所述抽真空通道(11)成形于所述承载台(1)的侧壁上，且与所述承载台(1)的所述中空腔相连通。

3.根据权利要求2所述的翘曲晶圆承载装置，其特征在于，还包括：

升降支撑机构(5)，至少部分可升降地设置在所述承载台(1)的所述中空腔内，所述顶针(21)安装设置在所述升降支撑机构(5)上，适于支撑并带动顶针(21)上下往复运动。

4.根据权利要求3所述的翘曲晶圆承载装置，其特征在于，所述升降支撑机构(5)包括：

支撑台(51)，设置在所述承载台(1)的所述中空腔内，所述顶针(21)远离所述翘曲晶圆(100)的一端安装设置在所述支撑台(51)上，所述支撑台(51)上设置有可供气体通过的气流通道，所述顶针(21)的中空腔通过所述气流通道实现与所述抽真空通道(11)之间的连通；

升降组件(52)，所述支撑台(51)设置在所述升降组件(52)上，适于带动所述支撑台(51)升降以带动顶针(21)升降。

5.根据权利要求1所述的翘曲晶圆承载装置，其特征在于，还包括：

推动机构(6)，设置在所述承载台(1)的上方，所述推动机构(6)包括至少一个导向轨(61)和滑动设置在所述导向轨(61)端部的推动块(62)，所述推动块(62)适于推动所述滑动限位件(31)沿与所述翘曲晶圆(100)相接触的基准面作径向内向移动。

6.根据权利要求5所述的翘曲晶圆承载装置，其特征在于：

所述推动机构(6)包括一个导向轨(61)和滑动设置在所述导向轨(61)两端的两个推动块(62)。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的翘曲晶圆承载装置，其特征在于，所述滑动限位件(31)的底部设置有滑槽，所述承载台(1)上设置有与所述滑槽配合的滑轨(12)；

所述滑槽与所述滑轨(12)均沿承载台(1)径向延伸设置，所述滑动限位件(31)适于通过所述滑槽与所述滑轨(12)的滑动配合实现沿所述承载台(1)的径向滑动。

8.根据权利要求1所述的翘曲晶圆承载装置，其特征在于，所述压力传感器(32)为压力传感膜；和/或，

所述滑动限位件(31)为弹性材料制成。

9.根据权利要求2-4中任一项所述的翘曲晶圆承载装置，其特征在于，所述承载台(1)的顶壁上开设有与所述顶针(21)配合穿过的通孔(13)，所述通孔(13)沿承载台(1)的周向排布设置，并位于所述密封环(4)的径内。

10.根据权利要求1-6中任一项所述的翘曲晶圆承载装置，其特征在于，所述顶针组件(2)还包括：

套管(22)，套设在所述顶针(21)上并可与所述顶针(21)滑动配合，所述套管(22)安装设置在所述承载台(1)的所述中空腔内。