[实用新型]激光沉积镀膜设备

权利要求书

1.激光沉积镀膜设备，其特征在于，包括：

壳体，所述壳体内形成有镀膜腔，所述壳体上设置有分别与所述镀膜腔连通的第一视窗部以及第二视窗部，所述第一视窗部以及所述第二视窗部隔着所述镀膜腔对置；

激光器，设置在所述镀膜腔的外部，并经由所述第一视窗部朝向所述镀膜腔的内部发射激光束；

靶座，设置在所述镀膜腔的镀膜区域内，可沿朝向与其对置的基台靠近或者远离的方向被驱动，在所述靶座沿靠近所述基台的方向被驱动时，从所述激光器发射的激光束可照射到位于所述靶座上的靶材上，在所述靶座沿远离所述基台的方向被驱动时，从所述激光器发射的所述激光束可穿过所述第二视窗部并到达放置在所述第二视窗部的外侧的能量计。

2.根据权利要求1所述的激光沉积镀膜设备，其特征在于，所述靶座在所述镀膜腔内，在所述第一视窗部以及所述第二视窗部之间，位于更靠所述第一视窗部的一侧。

3.根据权利要求1或2所述的激光沉积镀膜设备，其特征在于，所述镀膜腔内形成有容置腔，所述容置腔与所述镀膜区域连通，在所述靶座沿远离所述基台的方向被驱动时，所述靶座可缩回到所述容置腔内。

4.根据权利要求2所述的激光沉积镀膜设备，其特征在于，所述第一视窗部设置在所述壳体的一侧的上方，所述第二视窗部设置在所述壳体的另一侧的下方。

5.根据权利要求4所述的激光沉积镀膜设备，其特征在于，所述第一视窗部的轴心和所述第二视窗部的轴心同轴。

6.根据权利要求4或5所述的激光沉积镀膜设备，其特征在于，所述第二视窗部包括：

中空的连接座，所述连接座设置在所述壳体的另一侧的下方，所述连接座的位于轴向的一端的第一端部与所述镀膜腔连通；

第一透光件，安装在所述连接座的位于轴向的另一端的第二端部上。

7.根据权利要求6所述的激光沉积镀膜设备，其特征在于，还包括遮挡件，所述遮挡件设置在所述镀膜腔内，可被驱动以使所述第二视窗部的至少部分相对于所述镀膜区域被阻挡，或者使所述第二视窗部与所述镀膜区域相对。

8.根据权利要求7所述的激光沉积镀膜设备，其特征在于，所述遮挡件可旋转地安装在所述第二端部上。

9.根据权利要求8所述的激光沉积镀膜设备，其特征在于，所述第二端部上设置有转轴，所述转轴从所述连接座的外部伸到所述连接座内；

所述遮挡件安装在所述转轴的伸到所述连接座内的部分上。

10.根据权利要求5所述的激光沉积镀膜设备，其特征在于，所述第二视窗部的内径为30mm至50mm。