[实用新型]一种适用于半导体装片工序银浆树脂的回温装置有效

专利信息
申请号: 202223307953.1 申请日: 2022-12-10
公开(公告)号: CN218783010U 公开(公告)日: 2023-03-31
发明(设计)人: 陈李广;仲兆文;施文杰 申请(专利权)人: 上海芯哲微电子科技股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京七夏专利代理事务所(普通合伙) 11632 代理人: 刘毓珍
地址: 201400 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 适用于 半导体 工序 树脂 装置
【权利要求书】:

1.一种适用于半导体装片工序银浆树脂的回温装置,其特征在于:包括箱体、滚桶和电机,所述滚桶转动连接于箱体内,所述滚桶设有转动轴,且与电机动力连接,所述滚桶上开设有多个银浆仓,所述银浆仓开口端一侧均设有信息盒,所述银浆仓开口端设有固定盖和固定支架,所述箱体可拆卸转动连接设有门盖,所述箱体上设有启停开关、计时器和报警器,位于门盖的一侧。

2.如权利要求1所述的一种适用于半导体装片工序银浆树脂的回温装置,其特征在于:所述滚桶为六棱柱状,且六个侧面上均开设有四个共线且等距排布的银浆仓。

3.如权利要求2所述的一种适用于半导体装片工序银浆树脂的回温装置,其特征在于:所述固定盖卡接于银浆仓开口端,所述固定支架与固定盖连接,用于固定固定盖。

4.如权利要求3所述的一种适用于半导体装片工序银浆树脂的回温装置,其特征在于:所述转动轴固定连接于滚桶底面中心的两端,且与箱体转动连接。

5.如权利要求4所述的一种适用于半导体装片工序银浆树脂的回温装置,其特征在于:所述转动轴的一端与电机输出端连接。

6.如权利要求5所述的一种适用于半导体装片工序银浆树脂的回温装置,其特征在于:所述启停开关、电机、计时器和报警器均电性连接。

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