[实用新型]一种TMAH废水处理装置有效
| 申请号： | 202223336098.7 | 申请日： | 2022-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN218642601U | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 曹晨雷;郭石璧 | 申请（专利权）人： | 杭州胜澜科技有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/00 | 分类号： | C02F9/00;C07C209/86;C07C211/63;C02F1/44;C02F1/42;C02F1/66;C02F1/52;C02F101/20;C02F101/30 |
| 代理公司： | 杭州凯知专利代理事务所(普通合伙) 33267 | 代理人： | 孙安程 |
| 地址： | 310051 浙江省杭州市滨*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 tmah 废水处理 装置 | ||
1.一种TMAH废水处理装置，其特征在于，包括：
调节池，用于调节TMAH废液PH值；
半透膜分离单元，其进水口与所述调节池连接，具有半透膜分离单元浓水出口、半透膜分离单元膜淡水出口，用于过滤TMAH废水中的光刻胶及其他大分子有机物；
反渗透膜分离单元，其进水口与所述半透膜分离单元膜淡水出口连接，具有反渗透膜分离单元浓水出口、反渗透膜分离单元膜淡水出口，用于浓缩TMAH溶液，产生纯水；
离子交换树脂纯化单元，其进口与所述反渗透膜分离单元膜浓水出口连接，具有TMAH溶液出口，用于纯化TMAH溶液；
混凝沉淀生化单元，其进口与所述半透膜分离单元浓水出口连接，用于处理回收大分子有机物。
2.如权利要求1所述的TMAH废水处理装置，其特征在于，所述半透膜分离单元半透膜采用耐酸、耐碱的纳滤膜，切割分子量介于400-2000道尔顿。
3.如权利要求2所述的TMAH废水处理装置，其特征在于，所述反渗透膜分离单元采用的反渗透膜的切割分子量小于200道尔顿。
4.如权利要求2或3任一项所述的TMAH废水处理装置，其特征在于，所述半透膜分离单元或反渗透膜分离单元的膜材质为聚醚砜膜或负荷聚酰胺膜。
5.如权利要求2或3任一项所述的TMAH废水处理装置，其特征在于，所述半透膜分离单元或反渗透膜分离单元的膜组装结构为中空纤维式、管式或板式。
6.如权利要求1所述的TMAH废水处理装置，其特征在于，在所述调节池和所述半透膜分离单元之间设有保安过滤器。
7.如权利要求6所述的TMAH废水处理装置，其特征在于，所述半透膜分离单元、反渗透膜分离单元、离子交换树脂纯化单元均设有清洗环路。
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