[实用新型]一种TMAH废水处理装置

说明书

本实用新型涉及废水处理技术领域，具体涉及一种TMAH废水处理装置，包括以下有连接关系的处理单元：调节池，用于调节TMAH废水PH值；半透膜单元，用于过滤TMAH废水中的光刻胶及其他大分子有机物；半反渗透膜分离单元，用于浓缩TMAH溶液，产生纯水；离子交换树脂纯化单元，用于纯化TMAH溶液；混凝沉淀生化单元，用于处理回收大分子有机物。本实用新型能够将光刻胶等大分子有机物从系统中分离，避免在系统内停留或循环，对系统运行造成影响，并且不需要引入外部热源，节约了能量。经浓缩后的废水经过特殊的离子交换树脂进行纯化，纯化后TMAH可根据其纯度和含量决定其用途，若能达到电子级则可回生产线进行回用，也可做非电子级TMAH进行使用。

技术领域

本实用新型涉及废水处理技术领域，具体涉及一种TMAH废水处理装置。

背景技术

在有机材料蚀刻中，TMAH(四甲基氢氧化铵)作为显影剂参与蚀刻过程后，TMAH存留在废液中。呈强碱性的废液中含有TMAH、光刻胶等大分子有机物，如果直接排放会污染环境，并且会浪费TMAH。

为了对TMAH废液处理并回收TMAH，一般采用离子交换法，但不适用于高TMAH含量的废液。对此，公开专利一种TMAH回收利用装置(CN210613390U)介绍了利用蒸发膜将TMAH与水进行分离，对TMAH进行加热蒸发浓缩后回收，将无污染的水排出的方案，从而解决现有的TMAH回收利用工艺不适用于高含量的TMAH废液的问题。

发明人发现，该方案虽然解决了高含量的TMAH废液处理的问题，但其需要进行加热，需要耗费大量的能量，并且需要为此设置热源及多种辅助装置，不利于节约能源，也不便于维护。另外，光刻胶等大分子有机物在该方案中未被分离回收，在系统内停留或循环，会对系统运行造成影响。

实用新型内容

为了解决现有技术存在的不足，本实用新型公开了一种TMAH废水处理装置，通过设置特定组成结构的半透膜分离单元，能够将光刻胶等大分子有机物从系统中分离，解决光刻胶等大分子有机物在系统内停留或循环造成的问题，并且不需要引入外部热源，降低了消耗。

本实用新型通过以下技术方案得以实现：

一种TMAH废水处理装置，其特征在于，包括：

调节池，用于调节TMAH废液PH值；

半透膜分离单元，其进水口与所述调节池连接，具有半透膜分离单元浓水出口、半透膜分离单元膜淡水出口，用于过滤TMAH废水中的光刻胶及其他大分子有机物；

反渗透膜分离单元，其进水口与所述半透膜分离单元膜淡水出口连接，具有反渗透膜分离单元浓水出口、反渗透膜分离单元膜淡水出口，用于浓缩TMAH溶液，产生纯水；

离子交换树脂纯化单元，其进口与所述反渗透膜分离单元膜浓水出口连接，具有TMAH溶液出口，用于纯化TMAH溶液；

混凝沉淀生化单元，其进口与所述半透膜分离单元浓水出口连接，用于处理回收大分子有机物。

在半透膜分离单元中，TMAH是目标分离物，与TMAH一起分离出来的还有部分出水。对于TMAH来说半透膜分离单元相当于反渗透膜，对于纯水来说，半透膜分离单元相当于透膜。

进一步的改进，所述半透膜分离单元半透膜采用耐酸、耐碱的纳滤膜，切割分子量介于400-2000道尔顿。述反渗透膜分离单元采用的反渗透膜的切割分子量小于200道尔顿。

进一步的改进，所述半透膜分离单元或反渗透膜分离单元的膜材质为聚醚砜膜或负荷聚酰胺膜。

进一步的改进，所述半透膜分离单元或反渗透膜分离单元的膜组装结构为中空纤维式、管式或板式。

进一步的改进，在所述调节池和所述半透膜分离单元之间设有保安过滤器。