[实用新型]一种真空腔室组件

权利要求书

1.一种真空腔室组件，其特征在于，包括：

底座(110)；

第一调节座(120)，可摆动地连接于所述底座(110)；

第一调节件(130)，设置于所述第一调节座(120)的一侧，所述第一调节件(130)可移动地连接于所述底座(110)，并带动所述第一调节座(120)沿圆弧方向摆动；

真空腔室(150)，安装于所述第一调节座(120)，并沿着所述第一调节座(120)的摆动而进行角度调整，以使真空腔室(150)的侧壁与聚焦透镜的端面相平行。

2.根据权利要求1所述的一种真空腔室组件，其特征在于，所述底座(110)设有支撑部(111)，所述支撑部(111)设有圆弧孔(111a)；所述第一调节座(120)朝向所述支撑部(111)的一侧壁凸设有摆动部(121)，所述摆动部(121)可摆动地插接于所述圆弧孔(111a)，并沿着所述圆弧孔(111a)的圆弧方向摆动。

3.根据权利要求2所述的一种真空腔室组件，其特征在于，所述摆动部(121)处于所述圆弧孔(111a)内，所述摆动部(121)为圆弧凸台，并沿着所述圆弧孔(111a)的延伸方向延伸。

4.根据权利要求3所述的一种真空腔室组件，其特征在于，所述支撑部(111)的一侧设有紧固件(1111)，所述紧固件(1111)连接于所述摆动部(121)，并夹紧所述摆动部(121)和所述支撑部(111)。

5.根据权利要求1所述的一种真空腔室组件，其特征在于，所述底座(110)设有第一螺纹孔(110a)，所述第一螺纹孔(110a)相对于所述第一调节座(120)，所述第一调节件(130)螺接于所述第一螺纹孔(110a)，并抵接所述第一调节座(120)。

6.根据权利要求1至5中任一所述的一种真空腔室组件，其特征在于，所述真空腔室(150)包括玻璃真空腔(151)和安装部(152)，所述玻璃真空腔(151)通过管道连接于所述安装部(152)，所述安装部(152)安装所述第一调节座(120)，并随着所述第一调节座(120)的摆动而摆动，使得所述玻璃真空腔(151)相对于所述聚焦透镜进行角度调节。

7.根据权利要求6所述的一种真空腔室组件，其特征在于，所述真空腔室组件还包括复合泵(160)，所述复合泵(160)设置于所述真空腔室(150)的一侧，所述复合泵(160)的输出端连接于所述管道，并经过所述管道连通所述真空腔室(150)，所述复合泵(160)用于对所述真空腔室(150)进行真空处理。

8.根据权利要求2所述的一种真空腔室组件，其特征在于，所述底座(110)设有底座部(112)，所述底座部(112)处于所述支撑部(111)的下侧，所述支撑部(111)可移动地连接于所述底座部(112)，所述第一调节座(120)随着所述支撑部(111)的移动而移动。

9.根据权利要求8所述的一种真空腔室组件，其特征在于，所述底座部(112)设有凹槽(112a)，所述支撑部(111)朝向所述底座部(112)的一侧壁凸设有移动台(1112)，所述移动台(1112)可移动地安装于所述凹槽(112a)。

10.根据权利要求9所述的一种真空腔室组件，其特征在于，所述真空腔室组件还包括第二调节件(140)，所述第二调节件(140)可移动地安装于所述底座部(112)，并抵接所述支撑部(111)。