[实用新型]一种真空腔室组件

说明书

本申请提供一种真空腔室组件，真空腔室组件包括底座、第一调节座和第一调节件；第一调节座可摆动地连接于底座，第一调节件设置于第一调节座的一侧，第一调节件可移动地连接于底座，并带动第一调节座沿圆弧方向摆动，真空腔室安装于第一调节座，并沿着第一调节座的摆动而进行角度调整，以使真空腔室的侧壁与聚焦透镜的端面相平行，此时，第一调节座支撑真空腔室，真空腔室在第一调节座和第一调节件的带动下进行角度调整，便于真空腔室的侧壁与聚焦透镜的端面相平行，真空腔室相对于地底座可直接进行角度调整，避免了真空腔室为了进行角度调整而相对于底座拆卸和重新安装，提高了真空腔室的调整效率。

技术领域

本申请属于真空腔室组件的技术领域，尤其涉及一种真空腔室组件。

背景技术

随着科技的发展，在中性原子量子计算中，通常需要用真空腔室来提供高真空环境，聚焦透镜的端面发射光斑，光斑经过真空腔室的侧壁聚焦，并形成光镊，故真空腔室的侧壁与聚焦透镜的端面需要保持平行。

为了保证真空腔室的侧壁与聚焦透镜的端面保持平行，现有的真空腔室在安装于底座前进行真空腔室的侧壁与聚焦透镜的端面的平行调整，在真空腔室安装底座后，真空腔室固定于底座，并且不进行调整，可是，真空腔室在长期工作中会偏移，真空腔室的侧壁与聚焦透镜的端面不平行，真空腔室为了进行角度调整而相对于底座拆卸和重新安装，导致现有的真空腔室的调整效率较低。

实用新型内容

本申请实施例提供一种真空腔室组件，以解决现有的真空腔室的调整效率较低的技术问题。

第一方面，本申请实施例提供一种真空腔室组件，包括：

底座；

第一调节座，可摆动地连接于所述底座；

第一调节件，设置于所述第一调节座的一侧，所述第一调节件可移动地连接于所述底座，并带动所述第一调节座沿圆弧方向摆动；

真空腔室，安装于所述第一调节座，并沿着所述第一调节座的摆动而进行角度调整，以使真空腔室的侧壁与聚焦透镜的端面相平行。

可选的，所述底座设有支撑部，所述支撑部设有圆弧孔；所述第一调节座朝向所述支撑部的一侧壁凸设有摆动部，所述摆动部可摆动地插接于所述圆弧孔，并沿着所述圆弧孔的圆弧方向摆动。

可选的，所述摆动部处于所述圆弧孔内，所述摆动部为圆弧凸台，并沿着所述圆弧孔的延伸方向延伸。

可选的，所述支撑部的一侧设有紧固件，所述紧固件连接于所述摆动部，并夹紧所述摆动部和所述支撑部。

可选的，所述底座设有第一螺纹孔，所述第一螺纹孔相对于所述第一调节座，所述第一调节件螺接于所述第一螺纹孔，并抵接所述第一调节座。

可选的，所述真空腔室包括玻璃真空腔和安装部，所述玻璃真空腔通过管道连接于所述安装部，所述安装部安装所述第一调节座，并随着所述第一调节座的摆动而摆动，使得所述玻璃真空腔相对于所述聚焦透镜进行角度调节。

可选的，所述真空腔室组件还包括复合泵，所述复合泵设置于所述真空腔室的一侧，所述复合泵的输出端连接于所述管道，并经过所述管道连通所述真空腔室，所述复合泵用于对所述真空腔室进行真空处理。

可选的，所述底座设有底座部，所述底座部处于所述支撑部的下侧，所述支撑部可移动地连接于所述底座部，所述第一调节座随着所述支撑部的移动而移动。

可选的，所述底座部设有凹槽，所述支撑部朝向所述底座部的一侧壁凸设有移动台，所述移动台可移动地安装于所述凹槽。

可选的，所述真空腔室组件还包括第二调节件，所述第二调节件可可移动地安装于所述底座部，并抵接所述支撑部。