[实用新型]一种精密定量液体供给装置有效

专利信息
申请号: 202223359151.5 申请日: 2022-12-13
公开(公告)号: CN218669753U 公开(公告)日: 2023-03-21
发明(设计)人: 王阳;魏猛;刘莹 申请(专利权)人: 芯达半导体设备(苏州)有限公司
主分类号: F04B43/09 分类号: F04B43/09;F04B13/00
代理公司: 辽宁惟则知识产权代理事务所(普通合伙) 21273 代理人: 李巨智
地址: 215000 江苏省苏州市工业园区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 精密 定量 液体 供给 装置
【权利要求书】:

1.一种精密定量液体供给装置,其特征在于,包括泵送腔(4)、伸缩囊(9)及伸缩囊伸缩驱动机构,其中伸缩囊(9)容置于泵送腔(4)内,伸缩囊(9)内盛装有工作液(10),伸缩囊伸缩驱动机构设置于泵送腔(4)的外侧,且与伸缩囊(9)连接,伸缩囊伸缩驱动机构通过改变伸缩囊(9)内工作液(10)的容积来驱动伸缩囊(9)伸缩,从而实现泵送腔(4)吸液和供液;

所述伸缩囊(9)为两端均封闭的波纹管结构,且所述伸缩囊(9)的一端与所述泵送腔(4)一端内壁连接,所述伸缩囊(9)的另一端可向沿所述泵送腔(4)的轴向伸缩;

所述伸缩囊伸缩驱动机构包括液压缸(12)和直线驱动机构,其中液压缸(12)通过工作液输送管路(11)与所述伸缩囊(9)连接,液压缸(12)的活塞杆(13)与直线驱动机构连接,直线驱动机构用于驱动活塞杆(13)往复直线运动,从而改变所述伸缩囊(9)内工作液(10)的容积大小。

2.根据权利要求1所述的精密定量液体供给装置,其特征在于,所述直线驱动机构包括固定座、丝母(14)、丝杠(15)及电机(16),其中丝杠(15)转动安装在固定座上,丝母(14)与丝杠(15)螺纹连接,丝母(14)通过连接件与所述活塞杆(13)连接,电机(16)设置于固定座上且输出端与丝杠(15)的端部连接。

3.根据权利要求2所述的精密定量液体供给装置,其特征在于,所述丝杠(15)与所述活塞杆(13)平行设置。

4.根据权利要求1-3任一项所述的精密定量液体供给装置,其特征在于,还包括储液罐(1)、吸液管(2)、供液管(7)及喷嘴(8),其中储液罐(1)通过吸液管(2)与所述泵送腔(4)的吸液口连接,喷嘴(8)通过供液管(7)与所述泵送腔(4)的排液口连接。

5.根据权利要求4所述的精密定量液体供给装置,其特征在于,所述吸液管(2)和所述供液管(7)连接在所述泵送腔(4)的另一端,且对称设置。

6.根据权利要求4所述的精密定量液体供给装置,其特征在于,所述吸液管(2)上设有单向阀Ⅰ(3),所述供液管(7)上设有单向阀Ⅱ(6)。

7.根据权利要求4所述的精密定量液体供给装置,其特征在于,所述吸液管(2)和所述供液管(7)上均设有气动阀。

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