[实用新型]一种精密定量液体供给装置有效

专利信息
申请号: 202223359151.5 申请日: 2022-12-13
公开(公告)号: CN218669753U 公开(公告)日: 2023-03-21
发明(设计)人: 王阳;魏猛;刘莹 申请(专利权)人: 芯达半导体设备(苏州)有限公司
主分类号: F04B43/09 分类号: F04B43/09;F04B13/00
代理公司: 辽宁惟则知识产权代理事务所(普通合伙) 21273 代理人: 李巨智
地址: 215000 江苏省苏州市工业园区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 精密 定量 液体 供给 装置
【说明书】:

实用新型涉及液体供给装置技术领域,特别涉及一种精密定量液体供给装置。包括储液罐、泵送腔、伸缩囊及伸缩囊伸缩驱动机构,其中泵送腔的吸液口通过吸液管与储液罐连接,泵送腔的排液口通过供液管与喷嘴连接;伸缩囊容置于泵送腔内,伸缩囊内盛装有工作液,伸缩囊伸缩驱动机构设置于泵送腔的外侧,且与伸缩囊连接,伸缩囊伸缩驱动机构通过改变伸缩囊内的液体容积驱动伸缩囊伸缩,实现泵送腔从储液罐内吸液及泵送腔为喷嘴供液。本实用新型的泵送腔内因没有摩擦,不会对输送液产生污染;伸缩囊两侧压差小,且受力均匀,提高了伸缩囊的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及液体供给装置技术领域,特别涉及一种精密定量液体供给装置。

背景技术

泵是输送液体或使液体增压的流体机械,它将原动机的机械能或其它外部能量传送给液体,使液体能量增加。目前常用的有容积泵,容积泵依靠包容液体密封工作空间容积周期性变化,使液体压力增加后强行排出,所以容积泵不但具有很好的自吸特性且在负载发生变化时也有很稳定的流量。容积泵目前主要分往复泵和转子泵,现有容积泵采用传统机械结构,其传动与连接运用多个零部件,使得泵体的结构复杂且不易拆装造成维护困难。传统设计的容积泵因为运用多个零部件使得其在转动运动中会有大量的摩擦热损失,进而降低了泵的效率,也加快了泵的老化从而影响使用寿命。

实用新型内容

针对上述问题,本实用新型的目的在于提供一种精密定量液体供给装置,以解决现有容积泵采用传统机械结构,结构复杂、不易拆装、效率低及使用寿命短的问题。

为了实现上述目的,本实用新型采用以下技术方案:

本实用新型提供一种精密定量液体供给装置,包括泵送腔、伸缩囊及伸缩囊伸缩驱动机构,其中伸缩囊容置于泵送腔内,伸缩囊内盛装有工作液,伸缩囊伸缩驱动机构设置于泵送腔的外侧,且与伸缩囊连接,伸缩囊伸缩驱动机构通过改变伸缩囊内工作液的容积来驱动伸缩囊伸缩,从而实现泵送腔吸液和供液。

在一种可能实现的方式中,所述伸缩囊为两端均封闭的波纹管结构,且所述伸缩囊的一端与所述泵送腔一端内壁连接,所述伸缩囊的另一端可向沿所述泵送腔的轴向伸缩。

在一种可能实现的方式中,所述伸缩囊伸缩驱动机构包括液压缸和直线驱动机构,其中液压缸通过工作液输送管路与所述伸缩囊连接,液压缸的活塞杆与直线驱动机构连接,直线驱动机构用于驱动活塞杆往复直线运动,从而改变所述伸缩囊内工作液的容积大小。

在一种可能实现的方式中,所述直线驱动机构包括固定座、丝母、丝杠及电机,其中丝杠转动安装在固定座上,丝母与丝杠螺纹连接,丝母通过连接件与所述活塞杆连接,电机设置于固定座上且输出端与丝杠的端部连接。

在一种可能实现的方式中,所述丝杠与所述活塞杆平行设置。

在一种可能实现的方式中,所述的精密定量液体供给装置还包括储液罐、吸液管、供液管及喷嘴,其中储液罐通过吸液管与所述泵送腔的吸液口连接,喷嘴通过供液管与所述泵送腔的排液口连接。

在一种可能实现的方式中,所述吸液管和所述供液管连接在所述泵送腔的另一端,且对称设置。

在一种可能实现的方式中,所述吸液管上设有单向阀Ⅰ,所述供液管上设有单向阀Ⅱ。

在一种可能实现的方式中,所述吸液管和所述供液管上均设有气动阀。

本实用新型的优点及有益效果是:本实用新型提供的一种精密定量液体供给装置,采用伸缩囊替代传统容积泵机械零部件,与传统容积泵相比省去了复杂的结构与繁多的零件,同时减少了由于机械传动与摩擦产生的无用功。此外,泵送腔内因没有摩擦,不会对输送液产生污染;伸缩囊两侧压差小,且受力均匀,提高了伸缩囊的使用寿命。

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