[实用新型]晶圆加工用的吸附转移机构

权利要求书

1.晶圆加工用的吸附转移机构，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)上固定安装有空心柱(2)，所述空心柱(2)内安装有丝杆组件(3)，且滑动安装有调节柱(4)，所述调节柱(4)与所述丝杆组件(3)螺纹连接，所述空心柱(2)内开设有条形导向槽(5)，且上端通过轴承转动安装有旋转支架(7)，所述调节柱(4)上安装有导向块(6)，所述导向块(6)滑动安装在所述条形导向槽(5)内，所述旋转支架(7)与所述调节柱(4)之间固定安装有旋转组件(8)；

所述旋转支架(7)上插装有两个对称的工型块(9)，所述工型块(9)上固定安装有电动伸缩支架(10)，所述电动伸缩支架(10)的端部固定安装有L型板(11)，所述L型板(11)上安装有伺服电缸(12)，所述伺服电缸(12)上安装有真空吸盘(13)，所述真空吸盘(13)的一侧安装有吹气喷头(14)。

2.根据权利要求1所述的晶圆加工用的吸附转移机构，其特征在于：所述丝杆组件(3)包括第一伺服电机(31)和单向丝杆(32)，所述单向丝杆(32)的下端通过轴承转动安装在所述空心柱(2)的底部，且与所述调节柱(4)螺纹连接，所述第一伺服电机(31)固定安装在所述箱体(1)内，且通过联轴器与所述单向丝杆(32)传动连接。

3.根据权利要求1所述的晶圆加工用的吸附转移机构，其特征在于：所述旋转组件(8)包括第二伺服电机(81)、链条(82)、链盘(83)、链轮(84)和固定片(85)，所述固定片(85)焊接在所述调节柱(4)上，且与所述第二伺服电机(81)固定连接，所述链盘(83)固定安装在所述旋转支架(7)上，所述链轮(84)固定安装在所述第二伺服电机(81)的输出轴上，所述链条(82)的两侧安装在所述链盘(83)和所述链轮(84)上。

4.根据权利要求1所述的晶圆加工用的吸附转移机构，其特征在于：所述电动伸缩支架(10)包括电动推杆(101)、连接块(102)、空心管(103)和调节杆(104)，所述空心管(103)的一端固定安装在所述工型块(9)上，且与所述调节杆(104)滑动连接，所述调节杆(104)的一端与所述L型板(11)固定连接，且一侧与所述连接块(102)焊接连接，所述电动推杆(101)固定安装在所述空心管(103)上，且一端与所述连接块(102)固定连接。

5.根据权利要求1所述的晶圆加工用的吸附转移机构，其特征在于：所述真空吸盘(13)与所述吹气喷头(14)上均安装有阀门(15)。

6.根据权利要求1所述的晶圆加工用的吸附转移机构，其特征在于：所述箱体(1)的下表面上固定安装有底板(16)，所述底板(16)上开设有安装孔(17)。

7.根据权利要求1所述的晶圆加工用的吸附转移机构，其特征在于：所述旋转支架(7)上螺纹连接有两个旋钮螺钉(18)，所述旋钮螺钉(18)的一端抵止在所述工型块(9)上。