[实用新型]一种多层膜晶体片

权利要求书

1.一种多层膜晶体片，其特征在于：所述多层膜晶体片包括基体(1)，所述基体(1)上依次叠有底层(2)、CoCr膜层(3)、Sb膜层(4)和保护层(5)；

所述CoCr膜层(3)和Sb膜层(4)之间叠有第一超微间隔层(6)，所述Sb膜层(4)和保护层(5)之间叠有第二超微间隔层(7)，所述CoCr膜层(3)、第一超微间隔层(6)、Sb膜层(4)和第二超微间隔层(7)呈周期排列。

2.根据权利要求1所述的一种多层膜晶体片，其特征在于：所述第一超微间隔层(6)和第二超微间隔层(7)均为BN膜层，所述第一超微间隔层(6)和第二超微间隔层(7)的厚度相同且均为0.6-1.0nm。

3.根据权利要求1所述的一种多层膜晶体片，其特征在于：所述基体(1)为硅胶或玻璃中的其中一种。

4.根据权利要求1所述的一种多层膜晶体片，其特征在于：所述底层(2)镀制在基体(1)上，材料是金属Cr，厚度为5-10nm。

5.根据权利要求1所述的一种多层膜晶体片，其特征在于：所述CoCr膜层(3)厚度为1-5nm。

6.根据权利要求1所述的一种多层膜晶体片，其特征在于：所述Sb膜层(4)厚度为1-5nm。

7.根据权利要求1所述的一种多层膜晶体片，其特征在于：所述CoCr膜层(3)与Sb膜层(4)厚度比控制在1:1。

8.根据权利要求1所述的一种多层膜晶体片，其特征在于：所述CoCr膜层(3)、第一超微间隔层(6)、Sb膜层(4)和第二超微间隔层(7)呈周期排列，周期数为50-100。

9.根据权利要求1所述的一种多层膜晶体片，其特征在于：所述保护层(5)为B₄C膜层或C膜层的其中一种，厚度为1-5nm。