[实用新型]一种多层膜晶体片

说明书

本实用新型涉及一种多层膜晶体片，属于精密光学元件制作技术领域。本实用新型提供的多层膜晶体片包括基体，基体上依次叠有底层、CoCr膜层、Sb膜层和保护层；CoCr膜层和Sb膜层之间叠有第一超微间隔层，所述Sb膜层和保护层之间叠有第二超微间隔层，所述CoCr膜层、第一超微间隔层、Sb膜层和第二超微间隔层呈周期排列。CoCr，Sb材料在极紫外波段的光学常数合适，有优异的光学性能；在CoCr，Sb膜层之间插入第一超微间隔层和第二超微间隔层BN膜层阻止了CoCr膜层和Sb膜层之间的相互扩散，且具有良好的反射率，提高了多层膜晶体片的抗热损伤性能。

技术领域

本实用新型属于精密光学元件制作技术领域，具体地，涉及一种多层膜晶体片。

背景技术

在电磁波谱中，波长介于几纳米至几十纳米的极紫外与软X射线波段是非常特殊和重要的波段。在该波段所有材料的折射率都接近1，这意味着光在介质中几乎不发生折射。其中的“水窗”(E＝280-540eV)波段尤为重要，水(其中的氧)基本上是透明的，而碳的吸收(生命物质中大部分组成元素)能力很强。用该波段的软X射线作为信息载体，可以在很好的对比度条件下对生物样品进行全息摄影，对活体细胞进行显微成像，也可作为等离子体诊断的光源。然而，在水窗波段，任何单层膜的正入射反射率都非常低，只能采用多层膜反射元件，所以多层膜反射镜是该波段至关重要的元件。

但是紫外多层膜抗热损伤研究从微观尺度上看，多层膜的热损伤的物理实质是多层膜中各层材料间的相互扩散以及扩散层的相变。在常温下组成多层膜的两种材料之间扩散速率很低，因此界面稳定；但在高温条件下，膜层内被激活原子的比率大大增大，两种材料之间扩散速率急剧增大，形成更加稳定的扩散层，从而改变多层膜内部结构，最终导致多层膜的光学性能降低。

申请号为201610111320.3的专利公开了一种氮气反应溅射制备CoCr/Sb极紫外多层膜人工晶体单色器，该发明提供的CoCr，Sb材料在极紫外波段的光学常数合适，CoCr/Sb多层膜人工晶体单色器有优异的光学性能。但是CoCr和Sb界面成膜性不够好，抗热损伤性能不够从而影响多层膜人工晶体单色器的光学性能。

实用新型内容

为解决上述背景技术中存在的技术问题，本实用新型提供了一种多层膜晶体片。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种多层膜晶体片，所述多层膜晶体片包括基体，所述基体上依次叠有底层、CoCr膜层、Sb膜层和保护层；

所述CoCr膜层和Sb膜层之间叠有第一超微间隔层，所述Sb膜层和保护层之间叠有第二超微间隔层，所述CoCr膜层、第一超微间隔层、Sb膜层和第二超微间隔层呈周期排列。

优选地，所述第一超微间隔层和第二超微间隔层均为BN膜层，所述第一超微间隔层和第二超微间隔层的厚度相同且均为0.6-1.0nm。

优选地，所述基体为硅胶或玻璃中的其中一种。

优选地，所述底层镀制在基体上，材料是金属Cr，厚度为5-10nm。

优选地，所述CoCr膜层厚度为1-5nm。

优选地，所述Sb膜层厚度为1-5nm。

优选地，所述CoCr膜层、第一超微间隔层、Sb膜层和第二超微间隔层呈周期排列，周期数为50-100。

优选地，所述CoCr膜层与Sb膜层厚度比控制在1:1。

优选地，所述保护层为B₄C膜层或C膜层的其中一种，厚度为1-5nm。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：