[实用新型]一种晶圆水平式去胶机的固定机构有效

专利信息
申请号: 202223439087.1 申请日: 2022-12-20
公开(公告)号: CN219350195U 公开(公告)日: 2023-07-14
发明(设计)人: 倪裕林;徐新志;尹旺;尹康 申请(专利权)人: 昆山蕴鼎自动化科技有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;G03F7/42;G03F7/40
代理公司: 沧州市宏科专利代理事务所(普通合伙) 13134 代理人: 韩超
地址: 215000 江苏省苏州市昆*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 水平 式去胶机 固定 机构
【说明书】:

实用新型属于去胶机技术领域,具体的说是一种晶圆水平式去胶机的固定机构,包括底座;所述底座的顶部固定连接有工作台;所述工作台顶部的两侧均固定连接有挡板;两个所述挡板相对的一侧且位于工作台的顶部开设有工作腔;所述工作腔的内部设有固定组件;所述固定组件包括放置台;所述放置台的底部固定连接有支撑柱;所述支撑柱的底端与工作台的顶部固定连接;所述放置台顶部的两侧均固定连接有安装柱;通过上卡环、下卡环与挤压圆块的结构设计,实现了固定的功能,解决了需要往复将固定后的物品放入去胶机,操作步骤繁琐,费时费力,相应的去胶效率还有待提升的问题,方便调整去胶位置,提高了在去胶时固定的效率。

技术领域

本实用新型涉及去胶机技术领域,具体是一种晶圆水平式去胶机的固定机构。

背景技术

去胶机是一种用于物理学、电子与通信技术领域的计量仪器,主要原理是利用微波等离子将氧气或者其他反应气体进行电离,形成化学活性的自由基,然后与光刻胶反应,生成可挥发的物质,被真空泵抽离腔体,从而实现光刻胶刻蚀和去除的功能。

目前晶圆水平式去胶机在进行去胶时,对于需要去胶的物品进行固定,现有的固定方式,大多是操作人员通过虎口钳将去胶物品进行夹紧固定,随后在将虎口钳一起放入晶圆水平式去胶机,待到完成去胶之后,再将虎口钳取出,调整好位置之后再次夹紧之后再次去胶,直到完全去胶完毕之后再更换去胶物品重复以上操作。

然而对于现有的晶圆水平式去胶机在固定的时候,由于需要多次调整去胶位置,且需要往复将固定后的物品放入去胶机,操作步骤繁琐,费时费力,相应的去胶效率还有待提升;因此,针对上述问题提出一种晶圆水平式去胶机的固定机构。

实用新型内容

为了弥补现有技术的不足,需要多次调整去胶位置,且需要往复将固定后的物品放入去胶机,操作步骤繁琐,费时费力,相应的去胶效率还有待提升的问题,本实用新型提出一种晶圆水平式去胶机的固定机构。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:本实用新型所述的一种晶圆水平式去胶机的固定机构,包括底座;所述底座的顶部固定连接有工作台;所述工作台顶部的两侧均固定连接有挡板;两个所述挡板相对的一侧且位于工作台的顶部开设有工作腔;所述工作腔的内部设有固定组件;

所述固定组件包括放置台;所述放置台的底部固定连接有支撑柱;所述支撑柱的底端与工作台的顶部固定连接;所述放置台顶部的两侧均固定连接有安装柱;所述安装柱的顶部固定连接有下卡环;所述下卡环的顶部设有上卡环;所述上卡环的表面螺纹连接有螺栓;所述螺栓的一端贯穿上卡环与下卡环并延伸至下卡环的底部;所述螺栓位于下卡环底部的一端螺纹连接有螺帽。

优选的,所述上卡环的一侧设有挤压圆块;所述挤压圆块的一侧固定连接有螺纹杆。

优选的,所述螺纹杆远离挤压圆块的一端贯穿挡板并延伸至挡板的一侧;所述螺纹杆位于挡板一侧的一端固定连接有花形把手。

优选的,所述底座的顶部且位于工作台的一侧固定连接有转动架;所述转动架的表面转动连接有转动轴。

优选的,所述转动轴的表面转动连接有转动台;所述转动台的一侧固定连接有支撑把手。

优选的,所述转动台底部的一侧固定连接有去胶装置;所述去胶装置的表面设有控制面板。

优选的,所述控制面板的表面设有控制按钮;所述挡板的顶部固定连接有与转动台适配的支撑板。

优选的,所述螺纹杆的数量设为两个;所述上卡环与下卡环的数量均设为两个;所述螺纹杆与上卡环、下卡环均于放置台两侧对称布置。

本实用新型的有益之处在于:

1.本实用新型通过上卡环、下卡环与挤压圆块的结构设计,实现了固定的功能,解决了需要往复将固定后的物品放入去胶机,操作步骤繁琐,费时费力,相应的去胶效率还有待提升的问题,方便调整去胶位置,提高了在去胶时固定的效率;

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