[实用新型]一种点源蒸镀机新型坩埚挡板的开关结构有效
| 申请号： | 202223445910.X | 申请日： | 2022-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN219032330U | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 卞建业 | 申请（专利权）人： | 安徽熙泰智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/52;H10K71/00 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 何全陆 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市芜湖长江*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 点源蒸镀机 新型 坩埚 挡板 开关 结构 | ||
1.一种点源蒸镀机新型坩埚挡板的开关结构，所述的蒸镀机包括腔室底部(3)和腔室侧壁(8)，在所述的腔室底部(3)设置坩埚(1)；其特征在于：所述的腔室侧壁(8)上设置伺服电机(5)，所述的伺服电机(5)通过传动机构与坩埚挡板(2)连接，实现坩埚挡板(2)的前进与后退；在所述的腔室底部(3)设置前传感器(6)和后传感器(7)，所述的坩埚挡板(2)向前运动到前进极限位置时，触发前传感器(6)；所述的坩埚挡板(2)向后运动到后退极限位置时，触发后传感器(7)。
2.按照权利要求1所述的点源蒸镀机新型坩埚挡板的开关结构，其特征在于：所述的点源蒸镀机的控制系统采用PLC，所述的PLC通过驱动电路与伺服电机(5)连接。
3.按照权利要求1所述的点源蒸镀机新型坩埚挡板的开关结构，其特征在于：所述的前传感器(6)和后传感器(7)均通过信号电路与PLC连接。
4.按照权利要求1所述的点源蒸镀机新型坩埚挡板的开关结构，其特征在于：所述的前传感器(6)和后传感器(7)均为光电传感器。
5.按照权利要求2所述的点源蒸镀机新型坩埚挡板的开关结构，其特征在于：所述的PLC设置在控制机台(10)中，所述的控制机台(10)上设置声光报警器(11)；所述的声光报警器通过信号线路与PLC连接；所述的声光报警器(11)在坩埚挡板(2)运行不到位时发出报警声光。
6.按照权利要求5所述的点源蒸镀机新型坩埚挡板的开关结构，其特征在于：所述的控制机台(10)上设置点源蒸镀机控制面板(12)，在该面板上设置运行状态的触摸显示屏和控制按钮。
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