[实用新型]一种点源蒸镀机新型坩埚挡板的开关结构

说明书

本实用新型公开了一种点源蒸镀机新型坩埚挡板的开关结构，蒸镀机包括腔室底部(3)和腔室侧壁(8)，在腔室底部(3)设置坩埚(1)；腔室侧壁(8)上设置伺服电机(5)，伺服电机(5)通过传动机构与坩埚挡板(2)连接，实现坩埚挡板(2)的前进与后退；在腔室底部(3)设置前传感器(6)和后传感器(7)，坩埚挡板(2)向前运动到前进极限位置时，触发前传感器(6)；坩埚挡板(2)向后运动到后退极限位置时，触发后传感器(7)。采用上述技术方案，解决现有技术中的坩埚挡板旋转错位、内衬干涉以及设备维护困难等问题，降低设备故障率，提高生产能力和生产效率。

技术领域

本实用新型属于显示器材制造工艺及装备的技术领域。更具体地，本实用新型涉及一种点源蒸镀机新型坩埚挡板的开关结构。

背景技术

如图1、图2所示，在现有技术的OLED点源蒸镀机中，坩埚挡板2的开关方式，均利用气缸4或者电机旋转来实现坩埚挡板2绕着的旋转坩埚挡板转轴9转动；坩埚挡板2的驱动部件在腔室底部3；通过旋转的方式实现坩埚挡板2对坩埚1的遮挡(或开启)。

上述现有技术存在的问题和缺陷是：

1、长期使用容易出现旋转错位，导致遮盖不严；

2、旋转过程中，坩埚挡板2容易与周边内衬出现干涉，设备故障率高；

3、驱动部件在腔体底部3，空间太小，设备维护困难；

4、由于故障率高，每次出现异常时，蒸镀机需降温后开腔解决，产能损失严重。

检索到与本申请最接近的现有技术文献：

中国专利文献：“一种蒸镀装置”(201420871914.0)，基技术方案是：

“一种蒸镀装置，包括：坩埚，挡板，位于所述坩埚的外围区域；其中，所述挡板朝向所述坩埚的一侧，设有容置空间”；

其取得的技术效果是：可提高蒸镀时的原料回收率。

显然，该专利文献记载的技术方案并未解决现有技术存在的出现旋转错位、设备故障率高以及设备维护困难的问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种点源蒸镀机新型坩埚挡板的开关结构，其目的是降低设备故障率，提高生产能力。

为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

本实用新型的点源蒸镀机新型坩埚挡板的开关结构，所述的蒸镀机包括腔室底部和腔室侧壁，在所述的腔室底部设置坩埚；所述的腔室侧壁上设置伺服电机，所述的伺服电机通过传动机构与坩埚挡板连接，实现坩埚挡板的前进与后退；在所述的腔室底部设置前传感器和后传感器，所述的坩埚挡板向前运动到前进极限位置时，触发前传感器；所述的坩埚挡板向后运动到后退极限位置时，触发后传感器。

所述的点源蒸镀机的控制系统采用PLC，所述的PLC通过驱动电路与伺服电机连接。

所述的前传感器和后传感器均通过信号电路与PLC连接。

所述的前传感器和后传感器均为光电传感器。

所述的PLC设置在控制机台中，所述的控制机台上设置声光报警器；所述的声光报警器通过信号线路与PLC连接；所述的声光报警器在坩埚挡板运行不到位时发出报警声光。

所述的控制机台上设置点源蒸镀机控制面板，在该面板上设置运行状态的触摸显示屏和控制按钮。

本实用新型采用上述技术方案，解决现有技术中的坩埚挡板旋转错位、内衬干涉以及设备维护困难等问题，降低设备故障率，提高生产能力和生产效率。

附图说明

附图所示内容及图中的标记简要说明如下：