[实用新型]植球治具有效

专利信息
申请号: 202223472741.9 申请日: 2022-12-22
公开(公告)号: CN219163360U 公开(公告)日: 2023-06-09
发明(设计)人: 韦家敏;蔡刚 申请(专利权)人: 珠海视熙科技有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;H01L21/67;H01L21/60
代理公司: 北京中强智尚知识产权代理有限公司 11448 代理人: 刘丽颖
地址: 519080 广东省珠海市高新区唐*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 植球治具
【权利要求书】:

1.一种植球治具,其特征在于,包括:

底座;

固定组件,所述固定组件连接于所述底座;

网框组件,所述网框组件连接于所述固定组件;

调节组件,所述调节组件连接于所述网框组件和所述固定组件,所述调节组件用于调节所述网框组件相对于所述固定组件的位置。

2.根据权利要求1所述的植球治具,其特征在于,所述固定组件包括:

框体,所述框体连接于所述底座;

调节孔,开设在所述框体上;

容纳槽,开设在所述框体上,与所述调节孔相对设置;

所述调节组件通过所述容纳槽和所述调节孔连接于所述框体。

3.根据权利要求2所述的植球治具,其特征在于,所述调节组件包括:

调节螺杆,所述调节螺杆穿过所述调节孔抵接在所述网框组件上;

弹性件,所述弹性件的一端设置在所述容纳槽内,另一端抵接在所述网框组件上。

4.根据权利要求3所述的植球治具,其特征在于,

所述调节孔为两个或两个以上,所述调节螺杆的数量适配于所述调节孔的设置数量;

所述容纳槽为两个或两个以上,所述弹性件的数量适配于所述容纳槽的设置数量;

其中,部分所述调节螺杆沿着第一方向布置,另外一部分所述调节螺杆沿着第二方向布置。

5.根据权利要求4所述的植球治具,其特征在于,

至少有两个所述调节螺杆沿着所述第一方向布置,至少有两个所述调节螺杆沿着所述第二方向布置。

6.根据权利要求4所述的植球治具,其特征在于,

所述第一方向与所述第二方向垂直设置。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的植球治具,其特征在于,所述网框组件包括:

第一网框;

第二网框;

网体,所述网体设置在所述第一网框和所述第二网框之间;

紧固件,所述紧固件穿过所述第二网框连接于所述第一网框。

8.根据权利要求7所述的植球治具,其特征在于,

所述第一网框上形成有定位槽,部分所述调节组件设置在所述定位槽内。

9.根据权利要求8所述的植球治具,其特征在于,

所述第一网框的高度大于所述第二网框,所述第二网框嵌设在所述第一网框内。

10.根据权利要求1至6中任一项所述的植球治具,其特征在于,

所述底座上形成有装配位,所述装配位用于固定半导体器件。

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