[实用新型]碳化硅腐蚀炉

权利要求书

1.一种碳化硅腐蚀炉，其特征在于，包括：

炉体；

炉盖，所述炉盖盖合在所述炉体上，所述炉盖内设有腔室，所述腔室内可活动地设有第一腔门，以将所述腔室分隔为第一腔体和第二腔体，且所述第二腔体沿水平方向延伸至所述炉盖的侧边，以用于由所述第二腔体取放待测样品，所述炉盖的侧边设有第二腔门，以关闭所述第二腔体；

盛料件，所述盛料件设在所述炉体内，且所述盛料件的位置与所述第一腔体的位置相对应；所述盛料件内用于盛放碱料，所述待测样品通过所述第二腔体伸入所述第一腔体，且与所述盛料件的位置相对应，以用于对所述待测样品进行性能表征；

加热组件，所述加热组件设在所述炉体内，且位于所述盛料件的底部，以对所述盛料件进行加热。

2.根据权利要求1所述的碳化硅腐蚀炉，其特征在于，所述第二腔体的截面为倒T形，所述第二腔体在所述炉盖的侧边形成倒T形的开口。

3.根据权利要求1所述的碳化硅腐蚀炉，其特征在于，所述炉盖的截面呈方形，所述炉盖的朝向所述炉体的一侧的内壁为斜壁，所述斜壁由所述第一腔体朝向所述第二腔体向上倾斜延伸。

4.根据权利要求1所述的碳化硅腐蚀炉，其特征在于，所述炉盖内设有热电偶，所述热电偶具有镍包裹层，所述热电偶的一端与所述炉盖连接，另一端伸入所述盛料件内，且所述热电偶的高度与所述待测样品在所述第一腔体内的高度齐平。

5.根据权利要求3所述的碳化硅腐蚀炉，其特征在于，所述炉盖内还设有激光测距仪，所述激光测距仪设在所述斜壁上，且所述激光测距仪的位置与所述盛料件的位置相对应。

6.根据权利要求1所述的碳化硅腐蚀炉，其特征在于，所述炉盖内设有第一保温件，所述炉盖的内壁设有镍制保护层。

7.根据权利要求1所述的碳化硅腐蚀炉，其特征在于，所述盛料件为镍坩埚，所述盛料件设有第二保温件。

8.根据权利要求1所述的碳化硅腐蚀炉，其特征在于，所述加热组件包括：

电磁炉模块，所述电磁炉模块设在所述盛料件的底部，以对所述盛料件进行磁感应涡流加热；

控制模块，所述控制模块与所述电磁炉模块连接，以控制或调节所述电磁炉模块的加热功率。

9.根据权利要求8所述的碳化硅腐蚀炉，其特征在于，所述电磁炉模块包括：

线圈盘，所述线圈盘设在所述盛料件的底部；

测温电偶，所述测温电偶与所述线圈盘间隔设置，所述测温电偶位于所述盛料件的底部的中心位置。

10.根据权利要求8所述的碳化硅腐蚀炉，其特征在于，所述炉盖上设有第一显示屏，所述控制模块包括第二显示屏。