[实用新型]用于PVD镀膜的遮蔽装置有效
申请号: | 202223519831.9 | 申请日: | 2022-12-28 |
公开(公告)号: | CN219174598U | 公开(公告)日: | 2023-06-13 |
发明(设计)人: | 朱超;秦煌;杨红涛;刘书宇;魏兵;张士浤;洪辰谕 | 申请(专利权)人: | 富联裕展科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 梁飞龙 |
地址: | 518109 广东省深圳市龙华区龙华街道富康社区东环二路2号富士康H5厂房101、观澜街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 pvd 镀膜 遮蔽 装置 | ||
1.一种用于PVD镀膜的遮蔽装置,其特征在于,包括:
抵推组件,具有一可上下浮动的抵推斜面;
承载组件,可转动地插设于所述抵推组件并设有承载抵持件,用以承载工件;
遮蔽组件,套设于所述承载组件并与所述承载组件滑动连接,用以遮蔽所述工件的周侧中央主面;及
承托组件,包括:
承托连接件,设于所述遮蔽组件和所述抵推组件之间并与所述承载组件连接,所述承托连接件在所述承载组件的带动下顺时针或逆时针沿所述承载组件的周向进行周向转动;
承托件,穿设于所述承托连接件并与所述承托连接件转动连接,所述承托件可跟随所述承托连接件沿顺时针和逆时针中的一个方向周向转动,并在抵接于所述抵推斜面时使所述抵推斜面上浮以保持所述遮蔽组件未遮蔽所述工件的周侧中央主面的状态;所述承托件还可跟随所述承托连接件沿所述顺时针和逆时针中的另一个方向周向转动,并在抵接于所述抵推斜面时被不发生上浮的所述抵推斜面抵推而相对于所述承托连接件旋转,以使所述遮蔽组件脱离所述承托件而下落至所述承载抵持件来遮蔽所述工件的周侧中央主面。
2.如权利要求1所述的用于PVD镀膜的遮蔽装置,其特征在于,所述遮蔽组件包括:
第一连接件,套设于所述承载组件并与所述承载组件滑动连接,且所述第一连接件设有通孔,所述通孔用以收容所述承托件;
第二连接件,与所述第一连接件相对设置且所述第二连接件背离所述第一连接件的一侧抵接于所述承载抵持件,所述第二连接件套设于所述承载组件并与所述承载组件滑动连接,第二连接件与所述第一连接件之间形成收容空间;
支撑件,所述支撑件的两端分别与所述第一连接件和所述第二连接件连接;
遮蔽件,设于所述收容空间内并与所述支撑件连接,用以遮蔽所述工件的周侧中央主面。
3.如权利要求2所述的用于PVD镀膜的遮蔽装置,其特征在于,所述遮蔽组件还包括:
第一盖设件和第二盖设件,相对设置并套设于所述承载组件,且所述遮蔽件具有一避位槽,所述第一盖设件和所述第二盖设件可在所述避位槽内运动,所述第一盖设件和所述第二盖设件分别盖设所述工件的上下表面,用以遮蔽所述工件的上下表面。
4.如权利要求2所述的用于PVD镀膜的遮蔽装置,其特征在于,所述遮蔽组件还包括:
复位弹性件,所述复位弹性件套设于所述承载组件,且所述复位弹性件的两端分别与所述第一连接件和所述承托连接件连接,用以使所述遮蔽件复位。
5.如权利要求2所述的用于PVD镀膜的遮蔽装置,其特征在于,
所述遮蔽件的数量可以为多个,多个所述遮蔽件间隔设于所述收容空间内并分别与所述支撑件连接,用以遮蔽多个所述工件的周侧中央主面。
6.如权利要求2所述的用于PVD镀膜的遮蔽装置,其特征在于,所述承托件包括:
承托部,所述承托连接件设有容纳通槽,所述承托部穿设于所述容纳通槽并通过转轴与所述承托连接件转动连接,且所述承托部朝向所述抵推斜面的一端设有抵推适配面,所述抵推斜面与所述抵推适配面背对背接触时通过抵推所述抵推适配面来抵推所述承托部旋转,以使所述承托部脱离所述第一连接件;
第一弹性部,套设于所述转轴且所述第一弹性部的两端分别与所述承托部和所述承托连接件抵接,用以使所述承托部复位。
7.如权利要求6所述的用于PVD镀膜的遮蔽装置,其特征在于,所述承托部包括:
承托主体,穿设于所述容纳通槽并通过所述转轴与所述承托连接件转动连接,且所述承托主体的远离所述第二连接件的一端设有所述抵推适配斜面,所述承托连接件具有面对所述抵推组件的上表面,所述承托主体高出所述上表面的距离大于所述抵推组件至所述上表面的距离;
勾体,连接于所述承托主体远离所述抵推适配面的一端并沿垂直于所述承托主体的方向延伸,用以承托所述第一连接件。
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