[实用新型]一种制绒槽

权利要求书

1.一种制绒槽，其特征在于，包括槽体以及位于所述槽体内的鼓泡管；其中，

所述槽体内设有硅片反应区，所述鼓泡管位于所述硅片反应区靠近所述槽体的底部的一侧；所述鼓泡管的管壁贯穿设有鼓泡孔；其中，

所述鼓泡孔的鼓泡方向与第一方向之间夹角大于等于90°且小于180°；其中，所述第一方向为所述槽体的底部指向所述硅片反应区的方向。

2.根据权利要求1所述的制绒槽，其特征在于，所述鼓泡管在所述槽体的底面的正投影包围所述硅片反应区在所述槽体的底面的正投影。

3.根据权利要求2所述的制绒槽，其特征在于，所述鼓泡管设置在所述槽体的侧壁上。

4.根据权利要求3所述的制绒槽，其特征在于，所述鼓泡孔位于所述鼓泡管远离所述槽体的侧壁的一侧。

5.根据权利要求1所述的制绒槽，其特征在于，所述鼓泡管呈环状。

6.根据权利要求5所述的制绒槽，其特征在于，所述鼓泡管位于同一平面，且所述平面平行于所述槽体的底部。

7.根据权利要求1所述的制绒槽，其特征在于，所述鼓泡管呈直线状或弧线状。

8.根据权利要求1所述的制绒槽，其特征在于，所述鼓泡管的数量不少于两个，且不少于两个的所述鼓泡管沿所述第一方向分层布置。

9.根据权利要求1所述的制绒槽，其特征在于，所述鼓泡管的横截面为圆形、椭圆形或多边形。

10.根据权利要求1～9任一项所述的制绒槽，其特征在于，所述鼓泡孔的数量为多个，且所述鼓泡孔均匀设置在所述鼓泡管上。