[实用新型]一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置

权利要求书

1.一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，包括托盘基座(1)，顶部设置有水平承载部(11)，其特征在于，所述托盘基座(1)内设置有容纳腔，所述水平承载部(11)上设置有第一开槽(111)，装设在第一开槽(111)内并与水平承载部(11)水平面平齐的驱动块(2)，所述驱动块(2)的一端与水平承载部(11)的中部铰接连接，另一端活动连接，装设在容纳腔内的升降装置(3)，所述升降装置(3)与驱动块(2)活动的一端传动连接。

2.根据权利要求1所述的一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其特征在于，所述升降装置(3)包括装设在容纳腔内且竖直布置的升降杆(31)，水平布置的驱动杆(32)，所述驱动杆(32)的一端套设有齿轮(33)并位于容纳腔内，另一端从容纳腔中探出，所述齿轮(33)与升降杆(31)传动连接。

3.根据权利要求2所述的一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其特征在于，所述驱动杆(32)上设置有旋转圆柄(34)。

4.根据权利要求3所述的一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其特征在于，所述旋转圆柄(34)上设置有刻度。

5.根据权利要求2所述的一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其特征在于，所述升降杆(31)顶起的高度范围为1.2-2.2cm。

6.根据权利要求2所述的一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其特征在于，所述升降杆(31)的顶端并靠近驱动块(2)与水平承载部(11)的一侧设置有弧形倒角(311)。

7.根据权利要求1所述的一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其特征在于，所述水平承载部(11)的边缘处设置有环形凸起部(112)。

8.根据权利要求1所述的一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其特征在于，所述驱动块(2)的活动端设置有倾斜尖端(22)，所述第一开槽(111)的结构与驱动块(2)外形大小相适应，所述倾斜尖端(22)搭载在第一开槽(111)上。

9.根据权利要求1-8任一项所述的一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其特征在于，还包括装设在托盘基座(1)上的托盘(4)，所述托盘(4)上设置有与驱动块(2)外形大小相适应的第二开槽(41)，装设在第二开槽(41)内并与托盘(4)水平面平齐的顶起块(42)，所述顶起块(42)的外形大小与驱动块(2)相适应并与托盘(4)铰接连接。

10.根据权利要求9项所述的一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其特征在于，所述托盘(4)的顶部设置有容纳槽(43)，所述第二开槽(41)和顶起块(42)均设置在容纳槽(43)内，所述容纳槽(43)的顶部设置有水平向外延展的环形部(44)。