[实用新型]一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置

说明书

本实用新型公开了一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其涉及碳化硅外延生产领域，其包括托盘基座，顶部设置有水平承载部，所述托盘基座内设置有容纳腔，所述水平承载部上设置有第一开槽，装设在第一开槽内并与水平承载部水平面平齐的驱动块，所述驱动块的一端与水平承载部的中部铰接连接，另一端活动连接，装设在容纳腔内的升降装置，所述升降装置与驱动块活动的一端传动连接，本技术方案结构简单，在取料的过程中可以减少外延片划伤导致不良，节约原材料成本；同时减少人员在取片时浪费的时间，提高生产效率，本实用新型解决现有技术中碳化硅外延片生产过程中，人工取料效率低，不良率高，机械设备取料成本高的技术问题。

技术领域

本实用新型涉及碳化硅外延生产技术领域，尤其涉及一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置。

背景技术

在碳化硅外延片的生产过程中需要进行取料移料等操作，请参阅图1-图2，现有的托盘一般在边缘处设置有凸起部，使得碳化硅外延片始终位于托盘内，便于固定，但这样使得取料的时候比较困难，现有一般的取料方式有两种，

一种是选取特殊材料的镊子，利用其尖端扁平优势，插入到碳化硅外延片底部来抬起碳化硅外延片从而进行取片，这种人工取料效率低下，而且要极其小心来避免镊子的尖端划伤碳化硅外延片的表面，

另外一种采用机械设备，例如LPE公司的其他机型，其中，PE1O6机型是纯手动操作，没有撬取外延片的专用工具，造成外延片划伤概率多达7％左右，并且撬取外延片操作平均15秒/片，这样既浪费成本又降低生产效率。而改进后的PE1O6A设备，为自动传取晶片操作，较比PE1O6多出一套机械手传递装置，该机械手传递装置成本较高，而且该装置只能识别石墨涂层碳化钽托盘，涂层碳化钽托盘价格是涂层碳化硅的3倍之多，这样大大增加了碳化硅外延片的取料成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中的上述缺陷，提供了一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其解决现有技术中碳化硅外延片生产过程中，人工取料效率低，不良率高，机械设备取料成本高的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，包括托盘基座，顶部设置有水平承载部，所述托盘基座内设置有容纳腔，所述水平承载部上设置有第一开槽，装设在第一开槽内并与水平承载部水平面平齐的驱动块，所述驱动块的一端与水平承载部的中部铰接连接，另一端活动连接，装设在容纳腔内的升降装置，所述升降装置与驱动块活动的一端传动连接，便于将碳化硅外延片顶起，使得碳化硅外延片与托盘基座之间具有空隙，进而使得真空吸笔可以插入空隙内并吸取碳化硅外延片的底部。

上述技术方案中，所述升降装置包括装设在容纳腔内且竖直布置的升降杆，水平布置的驱动杆，所述驱动杆的一端套设有齿轮，并位于容纳腔内，另一端从容纳腔中探出，所述齿轮与升降杆传动连接，便于手动控制升降杆顶起的高度。

上述技术方案中，所述驱动杆上设置有旋转圆柄。

上述技术方案中，所述旋转圆柄上设置有刻度，便于观察和控制升降杆顶起的高度。

上述技术方案中，所述升降杆顶起的高度范围为1.2-2.2cm。

上述技术方案中，所述升降杆的顶端并靠近驱动块与水平承载部的一侧设置有弧形倒角。

上述技术方案中，所述水平承载部的边缘处设置有环形凸起部，便于固定托盘。

上述技术方案中，所述驱动块的活动端设置有倾斜尖端，所述第一开槽的结构与驱动块外形大小相适应，所述倾斜尖端搭载在第一开槽上，便于驱动块进行复位。

上述技术方案中，还包括装设在托盘基座上的托盘，所述托盘上设置有与驱动块外形大小相适应的第二开槽，装设在第二开槽内并与托盘水平面平齐的顶起块，所述顶起块的外形大小与驱动块相适应并与托盘铰接连接。