[实用新型]一种用于掩模工艺的自动拆膜装置

权利要求书

1.一种用于掩模工艺的自动拆膜装置，其特征在于，包括底座，所述底座的中部开设有放置掩模版托盘的卡槽，其四周设有用于固定带膜掩模版的卡扣装置，所述底座上固定安装有框架，所述框架的下方设有拆膜卡爪，其上方设有用于控制拆膜卡爪的拆膜气缸，控制器与拆膜气缸连接；

所述卡扣装置依次包括用于固定卡扣的螺栓、卡扣以及弹簧。

2.根据权利要求1所述的用于掩模工艺的自动拆膜装置，其特征在于，所述底座的侧面设置有与所述卡槽连通的插入口。

3.根据权利要求1所述的用于掩模工艺的自动拆膜装置，其特征在于，所述拆膜卡爪的前端设有可插入膜侧面孔中的凸起，便于拆膜时抓取牢靠。

4.根据权利要求1所述的用于掩模工艺的自动拆膜装置，其特征在于，所述掩模版托盘和卡槽的形状均为矩形，所述掩模版托盘采用四条边组成的框架，框架外轮廓与所述卡槽一致，框架内轮廓与掩模版的尺寸一致，框架内侧设置有用于托住掩模版的支承板。

5.根据权利要求1所述的用于掩模工艺的自动拆膜装置，其特征在于，所述螺栓与底座的上端面螺纹连接，所述螺栓的螺杆部分设有卡扣，所述卡扣的前端位于所述掩模版托盘的上方，所述卡扣与所述螺栓的螺杆部分滑动配合或间隙配合，所述卡扣下方的螺杆部分套设有弹簧。

6.根据权利要求1所述的用于掩模工艺的自动拆膜装置，其特征在于，所述掩模版托盘上设有方便取放的把手。

7.根据权利要求1所述的用于掩模工艺的自动拆膜装置，其特征在于，所述控制器上设有启动按钮和恢复按钮，所述启动按钮控制拆膜气缸带动拆膜卡爪上升，恢复按钮控制拆膜气缸带动拆膜卡爪恢复到原位。