[实用新型]一种用于掩模工艺的自动拆膜装置

说明书

本实用新型公开了一种用于掩模工艺的自动拆膜装置，包括底座，所述底座的中部开设有放置掩模版托盘的卡槽，其四周设有用于固定带膜掩模版的卡扣装置，所述卡扣装置依次包括螺栓、卡扣以及弹簧，所述底座上固定安装有框架，所述框架的下方设有拆膜卡爪，其上方设有用于控制拆膜卡爪的拆膜气缸，控制器与拆膜气缸连接；本装置结构简单，使用方便，拆膜卡爪前端的凸起以及卡扣装置均对掩模版起到有效的固定，防止拆膜过程中掩模版出现晃动，通过控制器来自动拆模，避免人工操作导致掩模版出现划伤、报废的情况。

技术领域

本实用新型涉及一种拆膜装置，特别涉及一种用于掩模工艺的自动拆膜装置。

背景技术

掩模是半导体行业集成电路制作时所需的一种模具，可将掩模上的图形经过曝光制程复制于晶圆上。掩模厂根据客户设计的图形，将图形数据转化后，利用掩模曝光机在感光石英基材上进行曝光，经显影、蚀刻、去胶、清洗、检测等一系列制程使图形完美呈现在掩模版上。

在掩模工艺制程中，不可避免会出现贴膜不合格，在人为全手动拆膜时存在划伤掩模版表面、拆膜难拆等问题。目前的手动拆膜，也会产生掩模版报废现象，从而影响产线效率与产能。

实用新型内容

本实用新型提供一种用于掩模工艺的自动拆膜装置用来克服现有技术中手动拆膜时掩模版放置不稳或产生晃动而造成掩模版划伤、报废的缺陷。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型公开了一种用于掩模工艺的自动拆膜装置，包括底座，所述底座的中部开设有放置掩模版托盘的卡槽，其四周设有用于固定带膜掩模版的卡扣装置，所述卡扣装置依次包括螺栓、卡扣以及弹簧，所述底座上固定安装有框架，所述框架的下方设有拆膜卡爪，其上方设有用于控制拆膜卡爪的拆膜气缸，控制器与拆膜气缸连接。

进一步的，底座的侧面设置有与所述卡槽连通的插入口。

进一步的，拆膜卡爪的前端设有可插入膜侧面孔中的凸起，便于拆膜时抓取牢靠。

进一步的，掩模版托盘和卡槽的形状均为矩形，所述掩模版托盘采用四条边组成的框架，框架外轮廓与所述卡槽一致，框架内轮廓与掩模版的尺寸一致，框架内侧设置有用于托住掩模版的支承板。

进一步的，螺栓与所述底座的上端面螺纹连接，所述螺栓的螺杆部分设有卡扣，所述卡扣的前端位于所述掩模版托盘的上方，所述卡扣与所述螺栓的螺杆部分滑动配合或间隙配合，所述卡扣下方的螺杆部分套设有弹簧。

进一步的，掩模版托盘上设有方便取放的把手。

进一步的，所述控制器上设有启动按钮和恢复按钮，启动按钮控制拆膜气缸带动拆膜卡爪上升，恢复按钮控制拆膜气缸带动拆膜卡爪恢复到原位。

本实用新型所达到的有益效果是：本装置结构简单，使用方便，拆膜卡爪前端的凸起以及卡扣装置均对掩模版起到有效的固定，防止拆膜过程中掩模版出现晃动，通过控制器来自动拆模，避免人工操作导致掩模版出现划伤、报废的情况。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的整体示意图；

图2是本实用新型的底座与掩模版托盘的示意图；

图3是本实用新型的俯视示意图。

图中：1、底座；2、掩模版托盘；3、把手；4、拆膜卡爪；5、螺栓；6、卡扣；7、弹簧；8、框架；9、拆膜气缸；10、控制器；11、启动按钮；12、恢复按钮；13、掩模版。

具体实施方式