[实用新型]板状靶材通用型真空吸附固定装置

权利要求书

1.板状靶材通用型真空吸附固定装置，其特征在于，包括吸附板本体(1)，所述吸附板本体(1)顶部的一端设有等间距的第一矩形分隔块(6)，所述第一矩形分隔块(6)一侧的吸附板本体(1)顶部皆设有第二矩形分隔块(10)，所述第二矩形分隔块(10)远离第一矩形分隔块(6)一侧的吸附板本体(1)顶部皆设有第三矩形分隔块(2)，所述第三矩形分隔块(2)、第二矩形分隔块(10)与第一矩形分隔块(6)外侧的吸附板本体(1)顶部设有多组方形沉槽(3)，所述吸附板本体(1)两侧的外表面皆设有两组定位结构(5)，所述吸附板本体(1)内部的中心位置处设有总管(11)，所述第一矩形分隔块(6)顶部的一侧皆设有吸附管(4)，所述吸附管(4)的底端延伸至吸附板本体(1)的内部并与总管(11)的顶端相连通。

2.根据权利要求1所述的板状靶材通用型真空吸附固定装置，其特征在于：所述吸附板本体(1)表面的中心位置处设有抽吸管(9)，所述抽吸管(9)的一端延伸至吸附板本体(1)的内部并与总管(11)的外壁相连通。

3.根据权利要求1所述的板状靶材通用型真空吸附固定装置，其特征在于：所述第三矩形分隔块(2)的长度与第一矩形分隔块(6)的长度以及第二矩形分隔块(10)的长度相等，所述第一矩形分隔块(6)的宽度大于第二矩形分隔块(10)的宽度，所述第二矩形分隔块(10)的宽度大于第三矩形分隔块(2)的宽度，所述第三矩形分隔块(2)顶端所在的平面与第一矩形分隔块(6)顶端所在的平面以及第二矩形分隔块(10)顶端所在的平面共面。

4.根据权利要求1所述的板状靶材通用型真空吸附固定装置，其特征在于：所述定位结构(5)的内部依次设有定位座(501)、条形定位孔(502)与定位螺栓(503)，所述吸附板本体(1)两侧的外表面上皆固定有两组定位座(501)，相邻定位座(501)关于吸附板本体(1)的中心线对称。

5.根据权利要求4所述的板状靶材通用型真空吸附固定装置，其特征在于：所述定位座(501)内部的中心位置处设有条形定位孔(502)，所述条形定位孔(502)的两端皆延伸至定位座(501)的外部，所述条形定位孔(502)位置处的定位座(501)顶端安装有定位螺栓(503)，所述定位螺栓(503)的底端贯穿至条形定位孔(502)的外部。

6.根据权利要求2所述的板状靶材通用型真空吸附固定装置，其特征在于：所述抽吸管(9)远离总管(11)的一端设有连接管口(8)，所述抽吸管(9)靠近连接管口(8)一端的外壁上安装有单向阀(7)。