[实用新型]板状靶材通用型真空吸附固定装置

说明书

本实用新型公开了板状靶材通用型真空吸附固定装置，包括吸附板本体，吸附板本体顶部的一端设有等间距的第一矩形分隔块，第一矩形分隔块一侧的吸附板本体顶部皆设有第二矩形分隔块，第二矩形分隔块远离第一矩形分隔块一侧的吸附板本体顶部皆设有第三矩形分隔块，第三矩形分隔块、第二矩形分隔块与第一矩形分隔块外侧的吸附板本体顶部设有多组方形沉槽，吸附板本体两侧的外表面皆设有两组定位结构。本实用新型不仅能够对不同尺寸的板状靶材进行负压抽吸吸附固定，进而提高了固定装置的适用范围，还达到了对该固定装置进行定位安置的目的，而且降低了板状靶材产生磨损的现象，且提高了板状靶材拆装更换时的便捷性。

技术领域

本实用新型涉及固定装置技术领域，具体为板状靶材通用型真空吸附固定装置。

背景技术

板状靶材通常是指设置呈板状的金属靶材，就是高速荷能粒子轰击的目标材料，在对其进行生产加工时，需对其进行多项工艺处理，而在对其进行工艺处理时，为了降低板状靶材产生偏移的现象，需对其进行固定处理，因而需使用到相应的固定装置。

目前的固定装置能够较好的对板状靶材进行固定处理，其主要设置有吸附板、真空吸附组件、吸附管等部件，具体的是将板状靶材放置于吸附板上，再由真空吸附组件接入外部真空泵，即可经吸附管产生真空负压将板状靶材吸附固定于吸附板上，根据上述可知，该板状靶材虽能够对板状靶材进行固定处理，但通常智能对既定规格的板状靶材进行吸附固定，因不便于对不同尺寸的板状靶材进行负压抽吸吸附固定，使得该固定装置具有一定的局限性，时常困扰着人们。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供板状靶材通用型真空吸附固定装置，以解决上述背景技术中提出板状靶材虽能够对板状靶材进行固定处理，但通常智能对既定规格的板状靶材进行吸附固定，因不便于对不同尺寸的板状靶材进行负压抽吸吸附固定，使得该固定装置具有一定局限性的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：板状靶材通用型真空吸附固定装置，包括吸附板本体，所述吸附板本体顶部的一端设有等间距的第一矩形分隔块，所述第一矩形分隔块一侧的吸附板本体顶部皆设有第二矩形分隔块，所述第二矩形分隔块远离第一矩形分隔块一侧的吸附板本体顶部皆设有第三矩形分隔块，所述第三矩形分隔块、第二矩形分隔块与第一矩形分隔块外侧的吸附板本体顶部设有多组方形沉槽，所述吸附板本体两侧的外表面皆设有两组定位结构，所述吸附板本体内部的中心位置处设有总管，所述第一矩形分隔块顶部的一侧皆设有吸附管，所述吸附管的底端延伸至吸附板本体的内部并与总管的顶端相连通。

优选的，所述吸附板本体表面的中心位置处设有抽吸管，所述抽吸管的一端延伸至吸附板本体的内部并与总管的外壁相连通，以便依次经抽吸管、总管与吸附管对板状靶材进行吸附固定处理。

优选的，所述第三矩形分隔块的长度与第一矩形分隔块的长度以及第二矩形分隔块的长度相等，所述第一矩形分隔块的宽度大于第二矩形分隔块的宽度，所述第二矩形分隔块的宽度大于第三矩形分隔块的宽度，所述第三矩形分隔块顶端所在的平面与第一矩形分隔块顶端所在的平面以及第二矩形分隔块顶端所在的平面共面，以使得该固定装置吸附板材的平直性较好。

优选的，所述定位结构的内部依次设有定位座、条形定位孔与定位螺栓，所述吸附板本体两侧的外表面上皆固定有两组定位座，相邻定位座关于吸附板本体的中心线对称，以便对条形定位孔进行安置处理。

优选的，所述定位座内部的中心位置处设有条形定位孔，所述条形定位孔的两端皆延伸至定位座的外部，所述条形定位孔位置处的定位座顶端安装有定位螺栓，所述定位螺栓的底端贯穿至条形定位孔的外部，以便对该固定装置进行定位安置处理。

优选的，所述抽吸管远离总管的一端设有连接管口，所述抽吸管靠近连接管口一端的外壁上安装有单向阀，以便连接外部真空组件进行抽吸处理。