[实用新型]一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机有效
| 申请号： | 202223602258.8 | 申请日： | 2022-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN219232942U | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 许琪伟;吕学良;冯季村;褚淼;刘蕊;李开宇;杨金慧;周东站 | 申请（专利权）人： | 中建材光子科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/08 | 分类号： | B05C11/08;B08B5/02;B05C9/10;G01N21/952 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 刘天柱 |
| 地址： | 277102 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 装置 晶圆匀胶机 | ||
1.一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机，其特征在于，包括：
匀胶机本体，设有匀胶槽以及设于其中可升降的晶圆放置台；
晶圆对中机构，包括间隔设置若干直段的支撑环，所述支撑环位于所述晶圆放置台中心正上方，各所述直段旋转配合有晶圆卡具，所述晶圆卡具均设有与晶圆适配的弧形托板，所述弧形托板向支撑环内侧延伸，所述晶圆卡具均外接卡具调节环，通过掰动卡具调节环使所述晶圆卡具向外侧转动。
2.如权利要求1所述的一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机，其特征在于，所述支撑环安装有若干支架，所述支架上配置有高于和低于所述弧形托板托举表面的强光灯。
3.如权利要求2所述的一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机，其特征在于，所述支架上配置有高于和低于所述弧形托板托举表面的氮气喷枪。
4.如权利要求1所述的一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机，其特征在于，在所述支撑环安装所述晶圆卡具左右两端位置处设有第一限位凸起。
5.如权利要求1所述的一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机，其特征在于，所述晶圆卡具设有套筒与所述直段旋转配合，所述套筒母线开设用于装配的豁口，所述套筒通过撑开所述豁口卡进所述直段。
6.如权利要求5所述的一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机，其特征在于，所述豁口朝向所述支撑环外侧。
7.如权利要求6所述的一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机，其特征在于，所述支撑环在所述豁口处设有第二限位凸起，所述弧形托板处于水平状态时，所述第二限位凸起恰好限位所述豁口上侧。
8.如权利要求5所述的一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机，其特征在于，所述套筒与所述弧形托板之间设有延伸部。
9.如权利要求5所述的一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机，其特征在于，所述卡具调节环连接在各所述晶圆卡具的所述套筒上。
10.如权利要求9所述的一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机，其特征在于，所述卡具调节环配置有手柄。
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