[实用新型]一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机

说明书

本实用新型涉及匀胶技术领域，特别涉及一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机，包括匀胶机本体，设有匀胶槽以及设于其中可升降的晶圆放置台；晶圆对中机构，包括间隔设置若干直段的支撑环，所述支撑环位于所述晶圆放置台中心正上方，各所述直段旋转配合有晶圆卡具，所述晶圆卡具均设有与晶圆适配的弧形托板，所述弧形托板向支撑环内侧延伸，所述晶圆卡具均外接卡具调节环，通过掰动卡具调节环使所述晶圆卡具向外侧转动；本实用新型能实现晶圆匀胶中心的快速对中，提高操作效率，避免人工对中产生较大偏差、造成晶圆表面新缺陷。

技术领域

本实用新型涉及匀胶技术领域，特别涉及一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机。

背景技术

匀胶机是通过高速旋转，使胶液均匀涂覆在基片上的设备，直接影响着胶层的厚度和均匀性。使用时，需要将晶圆中心与匀胶机的匀胶中心对准，否则，在匀胶电机高速旋转时，可能导致晶圆被甩出，或者晶圆表面的胶层分布不均匀。当前的匀胶对中操作存在的主要不足有：

(一)大多依靠操作人员进行手动对中。这种操作方式过于依赖操作人员的操作经验和肉眼检查能力，不能保证晶圆和匀胶中心对准的准确度和操作效率。在手动对中期间，多次移动晶圆以寻找中心位置，有可能对晶圆表面造成划痕等缺陷。

(二)人工上片和对中时，可能给晶圆表面引入新的缺陷，但无法进行检验。对于操作人员而言，上片和对中的过程中，有可能因操作不当或者身上带有粉尘颗粒，导致晶圆表面新增划痕、颗粒等缺陷。而晶圆本身，也可能在等待上片的过程中，因环境净化度不好或人员走动等原因，沾染灰尘颗粒等表面污染物，从而造成匀胶、曝光、显影后出现脏点、通孔等表面缺陷的现象。目前的多数匀胶方式，无法在匀胶前对晶圆表面进行再次检验，许多表面被污染或破坏的晶圆，不能被及时筛查出来，产生了很多材料成本和人工成本的浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机，以解决现有技术中存在的问题。为了实现上述目的，本实用新型通过如下的技术方案来解决：

本实用新型提供了一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机，包括：

匀胶机本体，设有匀胶槽以及设于其中可升降的晶圆放置台；

晶圆对中机构，包括间隔设置若干直段的支撑环，所述支撑环位于所述晶圆放置台中心正上方，各所述直段旋转配合有晶圆卡具，所述晶圆卡具均设有与晶圆适配的弧形托板，所述弧形托板向支撑环内侧延伸，所述晶圆卡具均外接卡具调节环，通过掰动卡具调节环使所述晶圆卡具向外侧转动。

作为进一步的技术方案，所述支撑环安装有若干支架，所述支架上配置有高于和低于所述弧形托板托举表面的强光灯。

作为进一步的技术方案，所述支架上配置有高于和低于所述弧形托板托举表面的氮气喷枪。

作为进一步的技术方案，在所述支撑环安装所述晶圆卡具左右两端位置处设有第一限位凸起。

作为进一步的技术方案，所述晶圆卡具设有套筒与所述直段旋转配合，所述套筒母线开设用于装配的豁口，所述套筒通过撑开所述豁口卡进所述直段。

作为进一步的技术方案，所述豁口朝向所述支撑环外侧。

作为进一步的技术方案，所述支撑环在所述豁口处设有第二限位凸起，所述弧形托板处于水平状态时，所述第二限位凸起恰好限位所述豁口上侧。

作为进一步的技术方案，所述套筒与所述弧形托板之间设有延伸部。

作为进一步的技术方案，所述卡具调节环连接在各所述晶圆卡具的所述套筒上。

作为进一步的技术方案，所述卡具调节环配置有手柄。

上述本实用新型的有益效果如下：