[发明专利]部件更换方法、部件更换装置和部件更换系统

说明书

在部件更换方法中，将部件更换装置与处理装置的腔室连接(工序a)。然后，利用设置在输送臂的末端执行器的距离传感器，测量从腔室内的规定位置到输送臂的第一距离(工序b)。然后，使末端执行器移动至第一距离与第二距离之差小于第三距离的位置(工序c)。然后，利用设置在末端执行器的摄像机，对腔室内的规定位置的特征进行拍摄(工序d)。然后，使末端执行器移动，以使得特征被拍摄在由摄像机拍摄到的图像内的规定位置(工序e)。然后，以特征被拍摄在图像内的规定位置的状态的末端执行器的位置为基准，使用输送臂的末端执行器来更换腔室内的部件(工序f)。

技术领域

本发明的各种方面和实施方式涉及部件更换方法、部件更换装置和部件更换系统。

背景技术

在对基片进行处理的处理装置的内部，存在随着进行基片的处理而消耗的消耗部件。这样的消耗部件在消耗量比预先确定的消耗量大的情况下，要被更换为使用前的消耗部件。在更换消耗部件时，要使处理装置中的基片的处理停止，使处理装置的容器向大气开放。然后，用人手取出使用后的消耗部件，并安装使用前的消耗部件。然后，再次将容器关闭，对容器内进行抽真空，再次开始基片的处理。

如上所述，在更换消耗部件时，要使处理装置的内部向大气开放，因此，需要对消耗部件更换后的处理装置内进行抽真空，处理的停止时间变长。此外，消耗部件中也存在大型的部件，因此，存在用人手进行更换要花费时间的情况。

为了避免上述情况，已知有一种更换站，其具有使用前的消耗部件和用于更换消耗部件的更换操作件(例如参照下述专利文献1)。在这样的更换站中，能够将处理装置与更换站连接，在对更换站内进行抽真空之后，将处理装置与更换站之间的截断阀打开。然后，利用更换站内的更换操作件从处理装置内取出使用后的消耗部件，与被搭载在更换站内的使用前的消耗部件进行更换。由此，能够不使处理装置的内部向大气开放地进行消耗部件的更换，能够使处理的停止时间缩短。此外，消耗部件的更换不是用人手进行而是用更换操作件进行，因此，能够在短时间内进行消耗部件的更换。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017-85072号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

本发明提供能够在使输送臂相对于腔室的位置高精度地对准之后进行腔室内的部件的更换的部件更换方法、部件更换装置和部件更换系统。

用于解决技术问题的手段

本发明的一个方面是一种部件更换方法，其包括工序a)、工序b)、工序c)、工序d)、工序e)和工序f)。在工序a)中，将部件更换装置与用于对基片进行处理的处理装置的腔室连接。在工序b)中，将部件更换装置内的输送臂插入到腔室内，使用设置在输送臂的距离传感器，测量从腔室内的预先确定的位置到输送臂的第一距离。在工序c)中，使输送臂移动至第一距离与预先确定的第二距离之差小于预先确定的第三距离的位置。在工序d)中，使用设置在输送臂的摄像机，对设置在腔室内的预先确定的位置的特征进行拍摄。在工序e)中，使输送臂移动，以使得特征被拍摄在由摄像机拍摄到的图像内的预先确定的位置。在工序f)中，以特征被拍摄在由摄像机拍摄到的图像内的预先确定的位置的状态的输送臂的位置为基准，使用输送臂来更换腔室内的部件。

发明效果

根据本发明的各种方面和实施方式，能够在使输送臂相对于腔室的位置高精度地对准之后进行腔室内的部件的更换。

附图说明

图1是表示第一实施方式中的等离子体处理系统的一个例子的系统构成图。

图2是表示第一实施方式中的部件更换装置的一个例子的概略截面图。

图3是表示第一实施方式中的末端执行器的一个例子的平面图。