[发明专利]弹性波装置

权利要求书

1.一种弹性波装置，具备：

石英基板；

多晶硅层，其设置在所述石英基板上；

压电体层，其设置在所述多晶硅层上；以及

IDT电极，其设置在所述压电体层上，具有多个电极指。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

所述压电体层是钽酸锂层或铌酸锂层。

3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

所述压电体层的切割角是旋转Y切割20°X传播～旋转Y切割60°X传播。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的弹性波装置，其中，

所述弹性波装置还具备低声速膜，该低声速膜设置在所述多晶硅层与所述压电体层之间，

在所述低声速膜传播的体波的声速比在所述压电体层传播的体波的声速低。

5.根据权利要求4所述的弹性波装置，其中，

所述低声速膜是氧化硅膜。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的弹性波装置，其中，

在所述石英基板传播的体波的声速比在所述压电体层传播的弹性波的声速低。

7.根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，

所述石英基板的欧拉角为(0°±2.5°的范围内，θ，90°±2.5°的范围内)，所述石英基板的欧拉角中的θ为185°≤θ≤240°。

8.根据权利要求7所述的弹性波装置，其中，

所述IDT电极具有多个电极指，

在将由所述IDT电极的电极指间距规定的波长设为λ、将所述多晶硅层的厚度设为t时，所述厚度t与所述石英基板的欧拉角中的θ的关系是表1所示的任意的组合，

[表1]

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