[发明专利]弹性波装置

说明书

提供一种弹性波装置，能够在宽频带中抑制高阶模式。本发明的弹性波装置(1)具备石英基板(3)、设置在石英基板(3)上的多晶硅层(4)、设置在多晶硅层(4)上的钽酸锂层(6)(压电体层)、以及设置在钽酸锂层(6)上且具有多个第一、第二电极指(18、19)的IDT电极(7)。

技术领域

本发明涉及弹性波装置。

背景技术

以往，弹性波装置被广泛用于便携电话机的滤波器等。在下述的专利文献1中公开了弹性波装置的一例。在该弹性波装置中，支承基板、高声速膜、低声速膜及压电体层依次层叠。在压电体层上设置有IDT(Interdigital Transducer，叉指换能器)电极。高声速膜包括SiNx。通过设为x＜0.67而实现高阶模式的抑制。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2019-145895号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，在专利文献1所记载的弹性波装置中，难以在宽频带中抑制高阶模式。

本发明的目的在于，提供一种能够在宽频带中抑制高阶模式的弹性波装置。

用于解决问题的手段

本发明的弹性波装置具备石英基板、设置在所述石英基板上的多晶硅层、设置在所述多晶硅层上的压电体层、以及设置在所述压电体层上且具有多个电极指的IDT电极。

发明效果

根据本发明的弹性波装置，能够在宽频带中抑制高阶模式。

附图说明

图1是示出本发明的第一实施方式的弹性波装置的一部分的主视剖视图。

图2是本发明的第一实施方式的弹性波装置的俯视图。

图3是示出欧拉角的坐标系的示意图。

图4是示出本发明的第一实施方式及比较例的弹性波装置的相位特性的图。

图5是示出本发明的第一实施方式的变形例的弹性波装置的一部分的主视剖视图。

图6是示出石英基板的欧拉角中的θ及多晶硅层的厚度t与Z比之间的关系的图。

图7是示出石英基板的欧拉角中的θ为185°～190°的情况下的θ及多晶硅层的厚度t与高阶模式的相位之间的关系的图。

图8是将图7放大后的图。

图9是示出石英基板的欧拉角中的θ为190°～240°的情况下的θ及多晶硅层的厚度t与高阶模式的相位之间的关系的图。

图10是示出石英的晶体中的弹性振动的对称性的立体投影图。

图11是示出本发明的第二实施方式及第三实施方式的弹性波装置的相位特性的图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的具体的实施方式进行说明，由此，使本发明变得清楚。

需要说明的是，本说明书所记载的各实施方式是例示的内容，预先指出能够在不同的实施方式之间进行结构的部分置换或组合。

图1是示出本发明的第一实施方式的弹性波装置的一部分的主视剖视图。图2是第一实施方式的弹性波装置的俯视图。需要说明的是，图1是沿着图2中的I-I线的剖视图。