[发明专利]半导体刻蚀设备用气体喷射器的清洗装置

权利要求书

1.半导体刻蚀设备用气体喷射器的清洗装置，其特征在于：包括储液箱(1)、位于储液箱(1)上方的冲洗箱(2)、位于储液箱(1)和冲洗箱(2)下方的泄漏箱(3)、位于冲洗箱(2)内部的出液箱(4)、分流管(5)、球阀(6)、夹具(7)和位于泄漏箱(3)内部的水泵(8)、过滤器(9)；

所述储液箱(1)与水泵(8)的进口端相连通，所述水泵(8)的出口端与过滤器(9)的进口端相连通，所述过滤器(9)的出口端与出液箱(4)的进口端相连通，所述分流管(5)的进口端与出液箱(4)远离出液箱(4)的进口端的一侧相连通，所述分流管(5)的出口端固定设有球阀(6)，所述夹具(7)内部固定设有一个气体喷射器(10)，所述夹具(7)固定位于球阀(6)的出口端，所述冲洗箱(2)出口端与储液箱(1)相连通；

所述夹具(7)包括呈圆筒状的第一固定件(11)、第二固定件(12)和第三固定件(13)，所述第二固定件(12)的外径与第三固定件(13)的外径一致，所述第三固定件(13)一端与球阀(6)的出口端固定连接，所述气体喷射器(10)固定位于第二固定件(12)内部，所述第二固定件(12)位于的第一固定件(11)的内部，所述第一固定件(11)与第三固定件(13)固定连接，所述第三固定件(13)远离球阀(6)出口端的一端与第二固定件(12)相抵。

2.根据权利要求1所述的半导体刻蚀设备用气体喷射器的清洗装置，其特征在于：所述球阀(6)的出口端处固定设有连接管(14)，所述连接管(14)与第三固定件(13)固定连接。

3.根据权利要求2所述的半导体刻蚀设备用气体喷射器的清洗装置，其特征在于：第三固定件(13)沿轴向开设有第一螺纹穿孔，所述连接管(14)的出口端设有第一外螺纹，所述第三固定件(13)与连接管(14)的出口端螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的半导体刻蚀设备用气体喷射器的清洗装置，其特征在于：所述第一固定件(11)沿轴向开设有第一圆形穿孔，所述第一固定件(11)靠近连接管(14)的一端开设有第一圆形放置槽，所述第一圆形放置槽与第一圆形穿孔同圆心，所述第一圆形放置槽与第一圆形穿孔形成阶梯，所述第二固定件(12)间隙配合插接于第一圆形放置槽内，所述第一圆形放置槽内部开设有第一内螺纹，所述第三固定件(13)外侧壁设有第二外螺纹，所述第一固定件(11)与第三固定件(13)螺纹连接。

5.根据权利要求4所述的半导体刻蚀设备用气体喷射器的清洗装置，其特征在于：所述第二固定件(12)沿轴向方向开设有第二圆形穿孔，所述第二固定件(12)靠近第三固定件(13)的一端开设有第二圆形放置槽，所述气体喷射器(10)间隙配合插接于第二圆形放置槽内。

6.根据权利要求5所述的半导体刻蚀设备用气体喷射器的清洗装置，其特征在于：所述第一固定件(11)外侧壁远离第三固定件(13)的一侧固定套设有三个环状限位块(15)，所述第一固定件(11)的侧壁卡接有三个限位板(16)，三个所述限位板(16)与冲洗箱(2)固定连接，每个所述限位板(16)均开设有与第一固定件(11)的外径一致的半圆形卡槽。

7.根据权利要求6所述的半导体刻蚀设备用气体喷射器的清洗装置，其特征在于：所述第三固定件(13)的外侧壁远离第一固定件(11)的一侧固定套设有六边形旋转块(17)。