[发明专利]拉拔槽装置在审
申请号: | 202310023100.5 | 申请日: | 2023-01-06 |
公开(公告)号: | CN115974374A | 公开(公告)日: | 2023-04-18 |
发明(设计)人: | 李青;李赫然;周冰;胡恒广;闫冬成;张玉娇 | 申请(专利权)人: | 河北光兴半导体技术有限公司;东旭科技集团有限公司 |
主分类号: | C03B17/06 | 分类号: | C03B17/06 |
代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 于海峰;刘铁生 |
地址: | 050000 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 拉拔 装置 | ||
1.一种拉拔槽装置,其特征在于,包括:
拉拔槽本体(1),包括:主体部分(101)和两个圆筒部分(102),所述主体部分(101)的顶侧形成对称的两个倾斜肩部,所述两个圆筒部分(102)设置于所述倾斜肩部且与所述主体部分(101)连通,以形成容置空间(103),所述主体部分(101)在第一方向(X)上的厚度小于每个所述圆筒部分(102)的直径;
进液管(2),设置于所述主体部分(101)的所述两个倾斜肩部之间,并与所述两个圆筒部分(102)连接以连通所述容置空间(103),用于向所述容置空间(103)注入玻璃液;
至少两个导流板(3),分别对称设置于所述两个圆筒部分(102),每个所述导流板(3)的一部分位于所述容置空间(103)的内部,其另一部分位于所述容置空间(103)的外部;和
狭缝槽(4),沿纵向开设于所述主体部分(101)的底部并沿第二方向(Y)延伸;
其中,所述第一方向(X)和所述第二方向(Y)互相垂直并分别垂直于纵向。
2.根据权利要求1所述的拉拔槽装置,其特征在于,
每个所述圆筒部分(102)的轴线与所述进液管(2)的轴线之间的夹角为10°至65°;
每个所述圆筒部分(102)的直径为5cm至12.5cm,所述主体部分(101)在所述第一方向(X)上的厚度为每个所述圆筒部分(102)的直径的0.5至0.85倍。
3.根据权利要求1所述的拉拔槽装置,其特征在于,
每个所述导流板(3)与其对应的所述圆筒部分(102)的轴线的夹角为20°至160°,所述导流板(3)为椭圆形板、圆形板或多边形板,其厚度为0.1cm至0.5cm。
4.根据权利要求3所述的拉拔槽装置,其特征在于,
所述导流板(3)为方形板时,每个所述导流板(3)的长度为每个所述圆筒部分(102)的直径的1至1.6倍,每个所述导流板(3)的宽度为每个所述圆筒部分(102)的直径的0.6至0.95倍。
5.根据权利要求1所述的拉拔槽装置,其特征在于,
所述导流板(3)的数量为四个,分别设置于两个所述圆筒部分(102)的长度的1/2处和3/4处。
6.根据权利要求1所述的拉拔槽装置,其特征在于,
每个所述导流板(3)上开设有导流孔或导流槽;
所述导流孔为均匀开设的若干个圆孔或多边形孔,所述导流孔的总面积为每个所述圆筒部分(102)的截面面积的0.1至0.5倍;
所述导流槽为均匀开设的多边形槽或双曲线型槽,所述导流槽的总面积为每个所述圆筒部分(102)的截面面积的0.1至0.4倍。
7.根据权利要求1所述的拉拔槽装置,其特征在于,还包括:
加热控温装置(5),安装于所述拉拔槽本体(1)的外壁并与所述至少两个导流板(3)电连接,用于对所述拉拔槽本体(1)的内部的玻璃液进行加热并对所述至少两个导流板(3)进行控温。
8.根据权利要求7所述的拉拔槽装置,其特征在于,加热控温装置(5)包括:
加热组件(501),安装于所述主体部分(101)的外壁,用于对所述拉拔槽本体(1)的内部的玻璃液进行加热;和
控温组件(502),与所述至少两个导流板(3)位于所述容置空间(103)的外部的部分电连接,用于对所述至少两个导流板(3)进行控温。
9.根据权利要求1所述的拉拔槽装置,其特征在于,
所述狭缝槽(4)上设置有沿纵向凸出于所述主体部分(101)的底部的导向部(401),用于对所述狭缝槽(4)中流出的玻璃液进行导流。
10.根据权利要求1所述的拉拔槽装置,其特征在于,
所述拉拔槽本体(1)、所述进液管(2)和所述至少两个导流板(3)均采用耐高温且稳定性良好的金属铂或铂合金制成。
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