[发明专利]一种深紫外光源的制备方法

权利要求书

1.一种深紫外光源的制备方法，其特征在于，包括：

S1：预备导热绝缘基板；

S2：通激光在所述导热绝缘基板上朝于所述导热绝缘基板垂直的方向灼烧出第一通孔和第二通孔；

S3：采用电镀的方式在所述第一通孔内形成第一导电柱，采用电镀的方式在所述第二通孔内形成第二导电柱；所述第一导电柱填充在所述第一通孔内，所述第二导电柱填充在所述第二通孔内；

S4：在所述导热绝缘基板一侧面上分别镀设形成间隔设置的第一焊盘和第二焊盘；在所述导热绝缘基板另一侧面上分别镀设形成间隔设置的第一电极和第二电极；所述第一焊盘通过所述第一导电柱与所述第一电极电性连接，所述第二焊盘通过所述第二导电柱与所述第二电极电性连接；

S5：预备紫外灯珠，所述紫外灯珠的一个供电引脚与所述第一电极导电连接，所述紫外灯珠的另一个供电引脚与所述第二电极导电连接。

2.如权利要求1所述的深紫外光源的制备方法，其特征在于，所述导热绝缘基板为氮化铝陶瓷或氧化铝陶瓷制成。

3.如权利要求1所述的深紫外光源的制备方法，其特征在于，所述第一焊盘和所述第二焊盘的制造步骤包括：

M1：通过磁控溅射的方式在所述导热绝缘基板的一侧面上形成第一金属层；

M2：通过光刻和蚀刻在所述第一金属层上形成所述第一焊盘和所述第二焊盘。

4.如权利要求3所述的深紫外光源的制备方法，其特征在于，M2的步骤之后还包括：

M3：在形成所述第一金属层后采用电镀的方式镀上第二金属层。

5.如权利要求1所述的深紫外光源的制备方法，其特征在于，所述第一电极和所述第二电极的制造步骤包括：

N1：通过磁控溅射的方式在所述导热绝缘基板的另一侧面上形成第三金属层；

N2：通过光刻和蚀刻在所述第三金属层上形成所述第一电极和所述第二电极。

6.如权利要求5所述的深紫外光源的制备方法，其特征在于，N2的步骤之后还包括：

N3：在形成所述第三金属层后采用电镀的方式镀上第四金属层。

7.如权利要求1所述的深紫外光源的制备方法，其特征在于，预备环形防护体；并将所述环形防护体安装到所述紫外灯珠外侧的所述导热绝缘基板。

8.如权利要求7所述的深紫外光源的制备方法，其特征在于，所述环形防护体的加工方法为：采用烧结或多层堆积的方式形成所述环形防护体。

9.如权利要求7所述的深紫外光源的制备方法，其特征在于，所述环形防护体采用与所述导热绝缘基板相同的材料制成。

10.如权利要求7所述的深紫外光源的制备方法，其特征在于，还包括：

预备透镜；将所述透镜设置在所述紫外灯珠的照射方向上；

在所述透镜的边缘表面镀第一焊接层；

所述环形防护体上镀第二焊接层；

焊接所述第一焊接层和所述第二焊接层。

11.如权利要求7所述的深紫外光源的制备方法，其特征在于，在所述环形防护体的内壁上形成反射层。

12.如权利要求11所述的深紫外光源的制备方法，其特征在于，在所述反射层的边缘形成镀设绝缘层。

13.如权利要求12所述的深紫外光源的制备方法，其特征在于，所述绝缘层为：氧化铝薄膜。

14.如权利要求10所述的深紫外光源的制备方法，其特征在于，还包括：

预备反光杯；

将所述反光杯设置在所述环形防护体内侧并连接在所述环形防护体上；所述紫外灯珠部分光束通过所述反光杯反射后通过所述透镜出射。

15.如权利要求14所述的深紫外光源的制备方法，其特征在于，所述反光杯的内壁上镀铝膜。