[发明专利]一种深紫外光源的制备方法

说明书

本发明涉及深紫外光源的技术领域，提供了一种深紫外光源的制备方法，S1：预备导热绝缘基板；S2：通激光在所述导热绝缘基板上烧出第一通孔和第二通孔；S3：在所述第一通孔内形成第一导电柱，在所述第二通孔内形成第二导电柱；S4：在所述导热绝缘基板一侧面上分别镀设形成间隔设置的第一焊盘和第二焊盘；在所述导热绝缘基板另一侧面上分别镀设形成间隔设置的第一电极和第二电极；所述第一焊盘通过所述第一导电柱与所述第一电极电性连接，所述第二焊盘通过所述第二导电柱与所述第二电极电性连接；S5：预备紫外灯珠，所述紫外灯珠的一个供电引脚与所述第一电极导电连接，所述紫外灯珠的另一个供电引脚与所述第二电极导电连接。

技术领域

本发明属于深紫外光源的技术领域，更具体地说，是涉及一种深紫外光源的制备方法。

背景技术

紫外光源在现代社会生活中应用非常广泛，特别是用于消毒设备中具有重要地位。现有的紫外光源通常需要在基板上设置焊盘和电极，基板上开设有导电孔，导电孔内单独设置导电金属，焊盘和电极分别固定在基板的两侧面上，且焊盘和电极通过导电孔内的导电金属导电。请参阅：(中国实用新型专利；公开号：CN217768409U；主题名称：一种紫外led封装结构；公开日：2022-11-08)基板上开设有导电孔，导电孔中单独设置导电金属，导电孔内的导电金属分别与焊盘或电极接触。

焊盘和电极通常是采用铜片，焊盘和电极一般粘接固定在基板上，可是粘接固定在基板上的焊盘在震动时容易松动；粘接固定在基板上的电极在震动时容易松动。

发明内容

本发明的目的在于提供一种深紫外光源的制备方法，以解决现有技术中存在的导电孔内的导电金属与焊盘或电极接触不牢固技术问题。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：提供一种深紫外光源的制备方法，包括：

S1：预备导热绝缘基板；

S2：通激光在所述导热绝缘基板上朝于所述导热绝缘基板垂直的方向灼烧出第一通孔和第二通孔；

S3：在所述第一通孔内形成第一导电柱，在所述第二通孔内形成第二导电柱；

S4：在所述导热绝缘基板一侧面上分别镀设形成间隔设置的第一焊盘和第二焊盘；在所述导热绝缘基板另一侧面上分别镀设形成间隔设置的第一电极和第二电极；所述第一焊盘通过所述第一导电柱与所述第一电极电性连接，所述第二焊盘通过所述第二导电柱与所述第二电极电性连接；

S5：预备紫外灯珠，所述紫外灯珠的一个供电引脚与所述第一电极导电连接，所述紫外灯珠的另一个供电引脚与所述第二电极导电连接。

进一步地，所述导热绝缘基板为氮化铝陶瓷或氧化铝陶瓷制成。

进一步地，所述第一焊盘和所述第二焊盘的制造步骤包括：

通过磁控溅射的方式在所述导热绝缘基板的一侧面上形成第一金属层；

通过光刻和蚀刻在所述第一金属层上形成所述第一焊盘和所述第二焊盘。

进一步地，在形成所述第一金属层后采用电镀的方式镀上第二金属层。

进一步地，所述第一电极和所述第二电极的制造步骤包括：

通过磁控溅射的方式在所述导热绝缘基板的另一侧面上形成第三金属层；

通过光刻和蚀刻在所述第三金属层上形成所述第一电极和所述第二电极。

进一步地，所述第一电极和所述第二电极的制造步骤包括：

通过磁控溅射的方式在所述导热绝缘基板的另一侧面上形成第二金属层；

通过光刻和蚀刻在所述第二金属层上形成所述第一电极和所述第二电极。