[发明专利]一种水平电镀装置

权利要求书

1.一种水平电镀装置，其特征在于，包括：

上阳极盒(100)，所述上阳极盒(100)内设置有第一阳极组件(110)；

下阳极盒(200)，所述下阳极盒(200)内设置有第二阳极组件(210)，且所述下阳极盒(200)上开设有第二进液口和第二出液口；

电镀槽，所述电镀槽内盛放有药液(800)，所述上阳极盒(100)和所述下阳极盒(200)均放置在所述电镀槽中，且所述上阳极盒(100)和所述下阳极盒(200)之间形成用于容置板料(300)的容置空间，所述板料(300)能够在所述容置空间内运动；

外循环组件(400)，所述外循环组件(400)包括进液管、出液管和水泵，所述水泵与所述进液管和所述出液管均连通，所述进液管连通于所述第二进液口，所述出液管连通于所述第二出液口，以使所述水泵能够驱动所述进液管内的药液(800)对所述下阳极盒(200)内的气泡(810)进行引流。

2.根据权利要求1所述的水平电镀装置，其特征在于，所述上阳极盒(100)上开设有第一进液口和第一出液口；所述进液管还连通于所述第一进液口，所述出液管还连通于所述第一出液口，以使所述水泵能够驱动所述进液管内的药液(800)对所述上阳极盒(100)内的气泡(810)进行引流。

3.根据权利要求2所述的水平电镀装置，其特征在于，所述上阳极盒(100)的截面呈矩形设置，且所述第一进液口和所述第一出液口等高设置；所述下阳极盒(200)的截面呈楔形设置，所述第二进液口的高度低于所述第二出液口的高度；或，

所述上阳极盒(100)和所述下阳极盒(200)均呈楔形设置，且所述上阳极盒(100)和所述下阳极盒(200)关于所述容置空间的轴线对称设置。

4.根据权利要求2所述的水平电镀装置，其特征在于，所述进液管包括第一进液管(410)，所述出液管包括第一出液管(420)，所述水泵包括第一水泵(430)，所述第一进液管(410)的一端连通于所述第一进液口，另一端连通于所述第一水泵(430)的出口端，所述第一出液管(420)的一端连通于所述第一出液口，另一端连通于所述第一水泵(430)的进口端。

5.根据权利要求2所述的水平电镀装置，其特征在于，所述进液管包括第二进液管，所述出液管包括第二出液管，所述水泵包括第二水泵，所述第二进液管的一端连通于所述第二进液口，另一端连通于所述第二水泵的出口端，所述第二出液管的一端连通于所述第二出液口，另一端连通于所述第二水泵的进口端。

6.根据权利要求1所述的水平电镀装置，其特征在于，所述进液管上连通有消泡装置，所述消泡装置用于消除所述药液(800)中的气泡(810)。

7.根据权利要求1所述的水平电镀装置，其特征在于，所述第一阳极组件(110)包括第一离子膜(140)和第一不溶性阳极(130)，所述第一离子膜(140)设置在所述第一不溶性阳极(130)的正下方，所述第一离子膜(140)用于透过金属离子。

8.根据权利要求7所述的水平电镀装置，其特征在于，所述第一阳极组件(110)还包括第一遮板(150)，所述第一遮板(150)上开设有多个第一通孔(1501)，所述第一遮板(150)设置在所述第一离子膜(140)的正下方。

9.根据权利要求1所述的水平电镀装置，其特征在于，所述上阳极盒(100)和所述下阳极盒(200)中的至少一者上设置有倾斜面(260)，所述下阳极盒(200)内设置有第二阳极组件(210)，部分所述第一阳极组件(110)或部分所述第二阳极组件(210)中的至少一者沿所述倾斜面(260)倾斜设置。

10.根据权利要求1所述的水平电镀装置，其特征在于，所述水平电镀装置还包括第一喷管(500)和第二喷管(600)，所述第一喷管(500)和所述第二喷管(600)分别设置在板料(300)的两侧，且所述第一喷管(500)与所述第二喷管(600)关于所述板料(300)对称设置。