[发明专利]一种水平电镀装置在审
申请号: | 202310029058.8 | 申请日: | 2023-01-09 |
公开(公告)号: | CN115992380A | 公开(公告)日: | 2023-04-21 |
发明(设计)人: | 余丞博;卞和平;黄建;胥勇;刘余晖 | 申请(专利权)人: | 昆山东威科技股份有限公司;昆山沪利微电有限公司 |
主分类号: | C25D17/02 | 分类号: | C25D17/02;C25D17/10;C25D21/12 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 李林 |
地址: | 215300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 水平 电镀 装置 | ||
本发明涉及电镀装置技术领域,尤其涉及一种水平电镀装置。包括上阳极盒、下阳极盒、电镀槽、外循环组件。上阳极盒内设置有第一阳极组件。下阳极盒内设置有第二阳极组件,且下阳极盒上开设有第二进液口和第二出液口。外循环组件包括进液管、出液管和水泵,水泵与进液管和出液管均连通,进液管连通于第二进液口,出液管连通于第二出液口,以使水泵能够驱动进液管内的药液对下阳极盒内的气泡进行引流。该水平电镀装置能够将下阳极盒内的气泡进行引流离开,避免气泡遮挡阳极电解反应,提高板材镀膜的均匀性和产品良率。
技术领域
本发明涉及电镀装置技术领域,尤其涉及一种水平电镀装置。
背景技术
目前,电镀装置的阳极在大多数情况下设置为不溶性阳极,在电镀过程中,由于使用不溶性阳极,使得位于阳极区域的药液电解析出氧气,在电镀液中形成氧气泡,随着时间的推移,气泡慢慢变大,氧气泡会运动至阴极区,容易导致阴极区域内的板材的表面镀层出现空洞,进而造成电镀不均匀的现象,影响待电镀产品的品质和良率。
在现有技术中,通常在正常的大气压下,通过自然的压差逐渐使气泡上浮并破裂,气泡的破裂速率慢、效率低,影响电镀产品的均匀性。
因此,亟需设计一种水平电镀装置,来解决以上技术问题。
发明内容
本发明的目的在于提出一种水平电镀装置,结构简单,能够将上阳极盒和下阳极盒内的气泡进行引流离开,避免气泡遮挡阳极电解反应,提高板材镀膜的均匀性和产品良率。
为达此目的,本发明采用以下技术方案:
本发明提供一种水平电镀装置,包括:
上阳极盒,所述上阳极盒内设置有第一阳极组件;
下阳极盒,所述下阳极盒内设置有第二阳极组件,且所述下阳极盒上开设有第二进液口和第二出液口;
电镀槽,所述电镀槽内盛放有药液,所述上阳极盒和所述下阳极盒均放置在所述电镀槽中,且所述上阳极盒和所述下阳极盒之间形成用于容置板料的容置空间,所述板料能够在所述容置空间内运动;
外循环组件,所述外循环组件包括进液管、出液管和水泵,所述水泵与所述进液管和所述出液管均连通,所述进液管连通于所述第二进液口,所述出液管连通于所述第二出液口,以使所述水泵能够驱动所述进液管内的药液对所述下阳极盒内的气泡进行引流。
作为一种水平电镀装置的可选技术方案,所述上阳极盒上开设有第一进液口和第一出液口;所述进液管还连通于所述第一进液口,所述出液管还连通于所述第一出液口,以使所述水泵能够驱动所述进液管内的药液对所述上阳极盒内的气泡进行引流。
作为一种水平电镀装置的可选技术方案,所述上阳极盒的截面呈矩形设置,且所述第一进液口和所述第一出液口等高设置;所述下阳极盒的截面呈楔形设置,所述第二进液口的高度低于所述第二出液口的高度;或,
所述上阳极盒和所述下阳极盒均呈楔形设置,且所述上阳极盒和所述下阳极盒关于所述容置空间的轴线对称设置。
作为一种水平电镀装置的可选技术方案,所述进液管包括第一进液管,所述出液管包括第一出液管,所述水泵包括第一水泵,所述第一进液管的一端连通于所述第一进液口,另一端连通于所述第一水泵的出口端,所述第一出液管的一端连通于所述第一出液口,另一端连通于所述第一水泵的进口端。
作为一种水平电镀装置的可选技术方案,所述进液管包括第二进液管,所述出液管包括第二出液管,所述水泵包括第二水泵,所述第二进液管的一端连通于所述第二进液口,另一端连通于所述第二水泵的出口端,所述第二出液管的一端连通于所述第二出液口,另一端连通于所述第二水泵的进口端。
作为一种水平电镀装置的可选技术方案,所述进液管上连通有消泡装置,所述消泡装置用于消除所述药液中的气泡。
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