[发明专利]一种固晶机用自动更换吸嘴装置有效

专利信息
申请号: 202310037183.3 申请日: 2023-01-10
公开(公告)号: CN115763355B 公开(公告)日: 2023-04-07
发明(设计)人: 张维伦;曾逸 申请(专利权)人: 深圳市卓兴半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/67;H01L33/48;B08B5/02;B08B15/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳市宝安*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 固晶机用 自动 更换 装置
【权利要求书】:

1.一种固晶机用自动更换吸嘴装置,包括机架总成(10)、邦头总成(11)、电气滑环组件(12)、多工位转盘(13)和多个气动夹持组件(14),所述邦头总成(11)装配于机架总成(10)的上端,所述电气滑环组件(12)装配于邦头总成(11)的上端,所述多工位转盘(13)装配于电气滑环组件(12)的下端且位于邦头总成(11)内部,多个所述气动夹持组件(14)环形分布于多工位转盘(13)的外侧,其特征在于:所述气动夹持组件(14)的下端均设置有识别元件,还包括:

快换盒(20),所述快换盒(20)位于机架总成(10)的上端,所述快换盒(20)的内部开设有环形导向凹槽(21)和多个存放腔(22),多个所述存放腔(22)环形分布于环形导向凹槽(21)的外侧,所述环形导向凹槽(21)和存放腔(22)之间设置有通气孔(23),且所述环形导向凹槽(21)和存放腔(22)通过通气孔(23)相连通,所述存放腔(22)的内部装配有吸嘴(15),所述环形导向凹槽(21)的内部转动连接有供气管(24),所述供气管(24)的一端固定有气路接头(25),所述供气管(24)的外侧设置有环形导向凸台(26),且所述环形导向凸台(26)和环形导向凹槽(21)相适配,所述供气管(24)上开设有一导气孔,且所述导气孔贯穿环形导向凸台(26);

收放组件(30),所述收放组件(30)装配于存放腔(22)的内部,所述吸嘴(15)位于收放组件(30)的内部,且至少有一个所述收放组件(30)为空载状态;

驱动部(40),所述驱动部(40)装配于快换盒(20)的一侧,用于驱动所述快换盒(20)运转;

其中,当一个所述通气孔(23)和导气孔相对应后,通过所述导气孔和该通气孔(23)的配合形成供气通路,位于该所述通气孔(23)上端的存放腔(22)和供气管(24)通过供气通路相连通。

2.根据权利要求1所述的一种固晶机用自动更换吸嘴装置,其特征在于:所述收放组件(30)包括收放套筒(31)、第一泄压阀(32)、第二泄压阀(33)、定位杆(34)和复位元件(35),所述收放组件(30)滑动连接于存放腔(22)的内部,所述收放组件(30)的内部开设有收放腔(38)和压力腔(39),且所述压力腔(39)位于收放腔(38)的外侧,所述收放腔(38)的上端设置有定位槽,所述吸嘴(15)活动的装配于定位槽的内部,所述第一泄压阀(32)固定于压力腔(39)内部的下端,所述第二泄压阀(33)固定于压力腔(39)的内壁上,所述定位杆(34)滑动连接于压力腔(39)的内部,且所述吸嘴(15)的外侧开设有与定位杆(34)相适配的夹持孔,所述复位元件(35)装配于定位杆(34)和收放套筒(31)之间。

3.根据权利要求2所述的一种固晶机用自动更换吸嘴装置,其特征在于:所述吸嘴(15)的下端设置有圆锥杆,所述圆锥杆位于第二泄压阀(33)输出端的延伸方向上。

4.根据权利要求2所述的一种固晶机用自动更换吸嘴装置,其特征在于:所述第一泄压阀(32)的泄放压力记为P1,所述第二泄压阀(33)的泄放压力记为P2,所述P2大于P1。

5.根据权利要求2所述的一种固晶机用自动更换吸嘴装置,其特征在于:所述收放套筒(31)的外壁上固定有排气管(36),且所述排气管(36)的一端贯穿压力腔(39)延伸至收放腔(38)内部,且所述排气管(36)的内部装配有一过滤元件。

6.根据权利要求2所述的一种固晶机用自动更换吸嘴装置,其特征在于:所述吸嘴(15)、收放套筒(31)的外侧均开设有削边面,所述存放腔(22)和定位槽的内部均开设有与削边面相适配的止转面。

7.根据权利要求1所述的一种固晶机用自动更换吸嘴装置,其特征在于:所述驱动部(40)包括驱动元件(41)和法兰板(42),所述驱动元件(41)位于快换盒(20)的一侧,所述法兰板(42)固定于驱动元件(41)的输出端,且所述驱动元件(41)和快换盒(20)固定连接。

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