[发明专利]控制半导体晶圆在传输装置上定位停止的方法

权利要求书

1.一种控制半导体晶圆在传输装置上定位停止的方法，所述方法应用在传输半导体晶圆（1）的传输装置中，所述传输装置包括驱动电机和该驱动电机同步控制的多个间隔分布的传输滚轮（22），其特征在于，所述方法包括：

预先在所有所述传输滚轮（22）形成的区域布设减速点（31）、停止点（32）和晶圆检测点（33），其中的减速点（31）、停止点（32）和晶圆检测点（33）沿所述传输滚轮（22）的正传输方向依次分布；其中，通过安装在所述传输装置上的第一传感器检测所述半导体晶圆（1）经过或离开所述减速点（31）；通过安装在所述传输装置上的第二传感器检测所述半导体晶圆（1）经过或离开所述停止点（32）；通过安装在所述传输装置上的第三传感器检测所述半导体晶圆（1）经过或离开所述晶圆检测点（33）；

在检测到所述半导体晶圆（1）依次经过所述减速点（31）、所述停止点（32）和所述晶圆检测点（33）之后，生成低电平信号并触发所述驱动电机；

若所述驱动电机触发，则在检测到所述半导体晶圆（1）离开所述减速点（31）之后，生成高电平信号并控制所述驱动电机以同步驱动所有所述传输滚轮（22）减速；

在检测到所述半导体晶圆（1）离开所述停止点（32）之后，生成高电平信号并控制所述驱动电机以同步驱动所有所述传输滚轮（22）停止；

所述方法还包括：

预先布设限位点（34）于所述区域中，且所述停止点（32）和所述限位点（34）沿所述正传输方向分布且沿所述正传输方向的距离大于预设距离；通过安装在所述传输装置上的第四传感器检测所述半导体晶圆（1）经过或离开所述限位点（34）；

若检测到所述半导体晶圆（1）经过所述限位点（34），则发出告警；

在检测到所述半导体晶圆（1）经过所述限位点（34）之后，若经过预设时间所述第一传感器或第二传感器仍输出低电平信号，则强制所有所述传输滚轮（22）停止；

其中，若所述第一传感器或所述第二传感器或所述第三传感器或所述第四传感器检测到所述半导体晶圆（1）经过，则输出低电平信号；若所述第一传感器或所述第二传感器或所述第三传感器或所述第四传感器检测到所述半导体晶圆（1）离开，则输出高电平信号；若所述第一传感器或所述第二传感器或所述第三传感器或所述第四传感器故障，则输出低电平信号；

所述第一传感器、所述第二传感器、所述第三传感器和所述第四传感器均采用常ON信号传感器；

其中，所述晶圆检测点（33）在所述正传输方向上到所述停止点（32）的距离大于所述预设距离的一半，且小于所述限位点（34）在所述正传输方向上到所述停止点（32）距离的一半。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述若经过预设时间所述第一传感器或第二传感器仍输出低电平信号，包括：

启动计时器，通过所述计时器的计时时间与所述预设时间的比较来判定经过预设时间所述第一传感器或第二传感器仍输出低电平信号。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述减速点（31）、所述停止点（32）、所述晶圆检测点（33）和所述限位点（34）均在与所述正传输方向的垂直方向上居中设置；

或者，所述第一传感器或所述第二传感器或所述第三传感器或所述第四传感器收容于相邻两个所述传输滚轮（22）形成的间隙中。