[发明专利]控制半导体晶圆在传输装置上定位停止的方法

说明书

本发明涉及一种控制半导体晶圆在传输装置上定位停止的方法，方法应用在传输半导体晶圆的传输装置中，传输装置包括驱动电机和该驱动电机同步控制的多个间隔分布的传输滚轮，方法包括：预先在所有传输滚轮形成的区域布设减速点、停止点和晶圆检测点，其中的减速点、停止点和晶圆检测点沿传输滚轮的正传输方向依次分布；在检测到半导体晶圆依次经过减速点、停止点和晶圆检测点后，触发驱动电机；在检测到半导体晶圆离开减速点后，控制驱动电机以同步驱动所有传输滚轮减速；在检测到半导体晶圆离开停止点后，控制驱动电机以同步驱动所有传输滚轮停止。本申请能够降低半导体晶圆在传输时停止定位异常的概率，确保半导体晶圆的定位稳定性。

技术领域

本发明涉及晶圆传输的技术领域，特别是涉及一种控制半导体晶圆在传输装置上定位停止的方法。

背景技术

在半导体自动化设备中，晶圆的传输多通过机械手将半导体晶圆从上一工序传输至下一工序，而在机械手传递晶圆的方式中，机器人是需要较高造价的，通过一系列滚轮形成生产线来转运晶圆也就逐渐在晶圆传输中开始广泛使用。当半导体晶圆在传输滚轮上传输时，可能会出现在特殊区域需要停止的情况，或者是某一区域的上下游发生了晶圆积压需要在该区域使得晶圆停止向前传输。

发明内容

有鉴于此，本申请实施例为解决背景技术中存在的至少一个问题而提供一种控制半导体晶圆在传输装置上定位停止的方法，其能够使得半导体晶圆在传输滚轮上稳定地停止，避免向前冲出造成半导体晶圆的损坏。

本申请实施例提供了一种控制半导体晶圆在传输装置上定位停止的方法，所述方法应用在传输半导体晶圆的传输装置中，所述传输装置包括驱动电机和该驱动电机同步控制的多个间隔分布的传输滚轮，所述方法包括：

预先在所有所述传输滚轮形成的区域布设减速点、停止点和晶圆检测点，其中的减速点、停止点和晶圆检测点沿所述传输滚轮的正传输方向依次分布；其中，通过安装在所述传输装置上的第一传感器检测所述半导体晶圆经过或离开所述减速点；通过安装在所述传输装置上的第二传感器检测所述半导体晶圆经过或离开所述停止点；通过安装在所述传输装置上的第三传感器检测所述半导体晶圆经过或离开所述晶圆检测点；

在检测到所述半导体晶圆依次经过所述减速点、所述停止点和所述晶圆检测点之后，生成低电平信号并触发所述驱动电机；

若所述驱动电机触发，则在检测到所述半导体晶圆离开所述减速点之后，生成高电平信号并控制所述驱动电机以同步驱动所有所述传输滚轮减速；

在检测到所述半导体晶圆离开所述停止点之后，生成高电平信号并控制所述驱动电机以同步驱动所有所述传输滚轮停止；

所述方法还包括：

预先布设限位点于所述区域中，且所述停止点和所述限位点沿所述正传输方向分布且沿所述正传输方向的距离大于预设距离；通过安装在所述传输装置上的第四传感器检测所述半导体晶圆经过或离开所述限位点；

若检测到所述半导体晶圆经过所述限位点，则发出告警；

在检测到所述半导体晶圆经过所述限位点之后，若经过预设时间所述第一传感器或第二传感器仍输出低电平信号，则强制所有所述传输滚轮停止；

其中，若所述第一传感器或所述第二传感器或所述第三传感器或所述第四传感器检测到所述半导体晶圆经过，则输出低电平信号；若所述第一传感器或所述第二传感器或所述第三传感器或所述第四传感器检测到所述半导体晶圆离开，则输出高电平信号；若所述第一传感器或所述第二传感器或所述第三传感器或所述第四传感器故障，则输出低电平信号；

所述第一传感器、所述第二传感器、所述第三传感器和所述第四传感器均采用常ON信号传感器。

结合本申请，在一可选实施方式中，所述晶圆检测点在所述正传输方向上到所述停止点的距离大于所述预设距离的一半，且小于所述限位点在所述正传输方向上到所述停止点距离的一半。