[发明专利]具有位移测量功能的微型直线滑动平台

权利要求书

1.具有位移测量功能的微型直线滑动平台，其特征在于，包括：

导向滑轨(1)，穿设于滑动平台(2)上；

驱动组件(3)，设置于所述滑动平台(2)上，所述驱动组件(3)的输出端能与所述导向滑轨(1)传动连接，以驱动所述滑动平台(2)沿所述导向滑轨(1)滑动；

光幕式距离传感器(4)，设置于所述滑动平台(2)上；

所述导向滑轨(1)包括定位导向轴(12)，所述定位导向轴(12)穿设于所述滑动平台(2)，所述定位导向轴(12)朝向所述光幕式距离传感器(4)发射光幕(41)的一侧形成有沿轴向单调变化的斜面(121)和/或斜槽(122)；

当所述滑动平台(2)由第一位置移动至第二位置时，依据所述斜面(121)和/或所述斜槽(122)上不同位置之间所述光幕式距离传感器(4)测得的距离变化量与斜率的对应关系，进行第一测量计算和/或第二测量计算，以得到所述滑动平台(2)相对于所述导向滑轨(1)的位移量。

2.根据权利要求1所述的具有位移测量功能的微型直线滑动平台，其特征在于，所述斜面(121)能反光，所述斜面(121)由所述定位导向轴(12)的一端至另一端单向倾斜设置，且所述斜面(121)的宽度沿所述定位导向轴(12)的长度方向呈单调线性变化，所述光幕式距离传感器(4)发射的光幕(41)正对所述斜面(121)并与所述定位导向轴(12)的轴线垂直。

3.根据权利要求2所述的具有位移测量功能的微型直线滑动平台，其特征在于，所述斜面(121)沿所述定位导向轴(12)的水平径向的投影落在所述光幕(41)的高度所覆盖的范围内。

4.根据权利要求2所述的具有位移测量功能的微型直线滑动平台，其特征在于，所述第一测量计算包括：根据公式计算得到所述滑动平台(2)的位移量_△X_y；

其中，Y1为在所述第一位置上所述光幕(41)的发射截面到所述斜面(121)的距离，Y2为在所述第二位置上所述光幕(41)的发射截面到所述斜面(121)的距离，dy为所述斜面(121)的预设倾斜度，Y1和Y2均由所述光幕式距离传感器(4)测量得到。

5.根据权利要求2所述的具有位移测量功能的微型直线滑动平台，其特征在于，所述斜面(121)上开设有沿其长度方向延伸的斜槽(122)，所述斜槽(122)不反光或者反光强度大于所述斜面(121)的反光强度，所述斜槽(122)由所述斜面(121)的较宽一侧的上边缘到较窄一侧的下边缘单向倾斜设置。

6.根据权利要求2所述的具有位移测量功能的微型直线滑动平台，其特征在于，所述第二测量计算包括：根据公式计算得到所述滑动平台(2)的位移量_△X_z；

其中，H1为在所述第一位置上所述斜槽(122)到所述斜面(121)下边缘的距离，W1为在所述第一位置上所述斜面(121)的宽度，H2为在所述第二位置上所述斜槽(122)到所述斜面(121)下边缘的距离，W2为在所述第二位置上所述斜面(121)的宽度，k为与所述定位导向轴(12)的直径、所述斜面(121)和所述斜槽(122)均相关的调和系数，dz为所述斜槽(122)的预设倾斜度，H1、W1、H2和W2均由所述光幕式距离传感器(4)测得。

7.根据权利要求1所述的具有位移测量功能的微型直线滑动平台，其特征在于，当所述第一测量计算的结果与所述第二测量计算的结果不相同且至多一个测量计算的结果在允许的误差范围内时，则根据所述第一测量计算的结果与所述第二测量计算的结果的大小进行选择。

8.根据权利要求7所述的具有位移测量功能的微型直线滑动平台，其特征在于，当所述第一测量计算的结果大于所述第二测量计算的结果时，选择所述第一测量计算的结果；

或者，当所述第二测量计算的结果大于所述第一测量计算的结果时，选择所述第二测量计算的结果。