[发明专利]形状测量设备的控制方法和记录存储器

说明书

本发明提供一种形状测量设备的控制方法和记录存储器，控制方法在无需CAD系统或高性能PC的情况下进行标称扫描测量。该控制方法包括：使用户从预先准备的几何形状菜单中选择被测物的形状；使用户根据所选择的几何形状来输入用以指定该几何形状的参数；从预先准备的测量路径菜单中选择测量路径；使用户根据所选择的测量路径来输入用以指定该测量路径的参数；基于所选择的几何形状、所输入的几何形状的参数、所选择的测量路径和所输入的测量路径的参数，使用预先准备的计算公式来计算工件上的测量点和各测量点的法线方向；以及计算在扫描测量点的序列的情况下进行移动所用的扫描测量的路径，并且以扫描所述扫描测量的路径的方式进行所述扫描测量。

(本申请是申请日为2016年6月2日、申请号为2016103882987、发明名称为“形状测量设备的控制方法”的申请的分案申请。)

技术领域

本发明涉及一种形状测量设备的控制方法。

背景技术

已知有通过在扫描被测物的表面的情况下移动触针头来测量该被测物的形状的形状测量设备(例如，JP 2008-241420A、JP 2013-238573A和JP2014-21004A)。

为了进行扫描测量，需要生成扫描测量的路径。

JP 2008-241420A中所公开的装置将基于CAD数据的设计数据(例如，非均匀有理B样条(NURBS)数据)转换成一组预定次数的多项式曲线。

从外部CAD系统等接收包括路径信息的CAD数据(例如，NURBS数据)，并且将CAD数据转换成一组点的数据。各点的数据是坐标(x，y，z)和法线方向(P，Q，R)的组合数据(即，该数据表示为(x，y，z，P，Q，R))。

在本说明书中，将具有(x，y，z，P，Q，R)的信息的数据称为轮廓点数据。

接着，各点的坐标在法线方向偏移了预定量(该预定量具体为触针头半径r-偏差量Ep)。将以这种方式所计算出的一组点的数据称为“偏移轮廓点数据”。

然后，将该偏移轮廓点数据转换成一组预定次数的多项式曲线。

这里，假设该多项式是三次函数，并且这些曲线是三次参数曲线(PCC)。

基于该PCC曲线，生成用于测量工件的路径。

此外，将PCC曲线分割成一组分割后的PCC曲线。根据该组分割后的PCC曲线来计算速度曲线，然后计算探测器的移动速度(移动矢量)(例如，基于该组分割后的PCC曲线的各段的曲率等来设置探测器的移动速度(移动矢量))。

根据以上述方式计算出的移动速度来移动该探测器，并且在扫描被测物的表面的情况下移动触针头(被动标称扫描测量：注意，本说明书中的术语“标称”表示沿着基于对象的设计数据而预先计算出的预定轨迹的扫描)。

此外，已知有如下方法：通过连续计算偏差校正矢量以使探测器的偏差量变为恒定，在校正轨迹的情况下进行扫描测量(JP 2013-238573A)。

在本说明书中，将这种扫描称为“主动标称扫描测量”。

此外，已经有如下方法：无需使用设计数据，在生成轨迹的情况下进行扫描测量(自主扫描测量，例如JP 5089428B)。

如上所述，存在被动标称扫描测量、主动标称扫描测量和自主扫描测量这三种测量方法，并且各种测量方法具有优点和缺点。

例如，尽管可以通过自主扫描测量来测量全部工件，但自主扫描测量需要花费较长时间。

例如，自主扫描测量中探测器的移动速度约为10mm/sec(毫米/秒)～15mm/sec，并且标称扫描测量中探测器的移动速度约为50mm/sec～100mm/sec。因而，与标称扫描测量相比，自主扫描测量预期花费约10倍长的时间。