[发明专利]氯硅烷冷凝装置和氯硅烷回收系统

权利要求书

1.一种氯硅烷冷凝装置，用于冷凝来自上游工序的尾气中含有的氯硅烷，其特征在于，所述冷凝装置包括：

外壳，所述外壳的内空间依次划分为进气区域、冷凝区域和缓冲区域；其中，所述外壳上对应于所述进气区域设置有尾气进口，所述尾气进口用于将所述尾气输入所述进气区域；所述外壳上对应所述缓冲区域设置有出液口；所述外壳上还设置有出气口；

冷凝管，所述冷凝管设置于所述冷凝区域，所述冷凝管用于将所述尾气中含有的氯硅烷冷凝成液态氯硅烷；

其中，所述出气口用于将所述尾气经过所述冷凝管后未凝结成液态的剩余气体排出；所述出液口用于将所述缓冲区域内的所述液态氯硅烷排出；

所述尾气冷凝形成的所述液态氯硅烷能够在所述缓冲区域内积存，所述缓冲区域的容积被设置为能够避免所述出液口下液不畅。

2.根据权利要求1所述的冷凝装置，其特征在于，

所述缓冲区域的容积大于所述进气区域的容积。

3.根据权利要求1所述的冷凝装置，其特征在于，所述外壳包括：

上壳；

下壳，所述下壳用于形成所述缓冲区域，所述下壳为自上向下递增的锥桶形。

4.根据权利要求1所述的冷凝装置，其特征在于，所述外壳包括：

上壳；

下壳，所述下壳用于形成所述缓冲区域，所述下壳为球形。

5.根据权利要求3或4所述的冷凝装置，其特征在于，所述外壳的内空间还划分有出气区域，所述外壳上对应所述出气区域设置有所述出气口；

所述出气区域与所述进气区域并列设置，且所述进气区域和所述出气区域均设置于所述冷凝区域上方；

所述冷凝管包括位于所述进气区域下方的第一管程和位于所述出气区域下方的第二管程，所述第一管程用于将进入所述进气区域的所述尾气中含有的氯硅烷冷凝成液态氯硅烷，所述第二管程用于将所述尾气经过所述第一管程后未凝结成液态的气体中含有的氯硅烷冷凝成液态氯硅烷。

6.根据权利要求5所述的冷凝装置，其特征在于，所述上壳用于形成所述进气区域、所述冷凝区域和所述出气区域。

7.根据权利要求6所述的冷凝装置，其特征在于，所述冷凝装置还包括：

隔板，设置于所述上壳内，所述隔板用于分隔所述进气区域和所述出气区域。

8.根据权利要求3或4所述的冷凝装置，其特征在于，所述外壳上对应所述缓冲区域设置有所述出气口。

9.根据权利要求8所述的冷凝装置，其特征在于，所述上壳用于形成所述进气区域和所述冷凝区域。

10.一种氯硅烷回收系统，用于回收多晶硅生产的尾气中含有的氯硅烷，其特征在于，所述氯硅烷回收系统包括：

权利要求1至9中任一项所述的氯硅烷冷凝装置；

存储装置，所述存储装置连接至所述氯硅烷冷凝装置的出液口，所述存储装置用于存储所述液态氯硅烷。