[发明专利]吸擦一体式擦头装置在审

专利信息
申请号: 202310080721.7 申请日: 2023-02-06
公开(公告)号: CN116276630A 公开(公告)日: 2023-06-23
发明(设计)人: 刘炳义;王秀海;文黎波;赵英伟;吴爱华;郝晓亮;秦天;马培圣;张文雅;曹健 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
主分类号: B24B37/10 分类号: B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B57/02;B24B55/06
代理公司: 石家庄国为知识产权事务所 13120 代理人: 郭乐
地址: 050051 *** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 吸擦一 体式 装置
【权利要求书】:

1.一种吸擦一体式擦头装置,其特征在于,包括:

吸盘主体(5),所述吸盘主体(5)上表面中间设有安装圆台(502),围绕所述安装圆台(502)设有用于容纳研磨液的第一环形凹槽(503),所述第一环形凹槽(503)的底部设有第一研磨液排出孔(505),所述安装圆台(502)的中心设有第一通气孔(501);所述吸盘主体(5)的下表面中间设有安装孔(506)和负压腔(504);

吸盘芯(16),安装于所述安装孔(506)处,且隐藏于所述负压腔(504)内;所述吸盘芯(16)具有与所述第一通气孔(501)同轴连通的第二通气孔(165),所述第二通气孔(165)为盲孔,不贯穿所述吸盘芯(16);所述吸盘芯(16)外露于所述安装孔(506)的下端设有分气盘(161),沿所述分气盘(161)周向均匀设有多个第一径向排气孔(163),所述第一径向排气孔(163)与所述第二通气孔(165)连通;

还包括支架(1)、设置于所述支架(1)下端的驱动电机(3)、与所述驱动电机(3)的空心轴连通的通气管路(2)以及依托所述支架(1)固定的研磨液管路(6)、吹扫气管路(12)、冲洗液管路(11);其中,所述安装圆台(502)上的第一通气孔(501)连通所述空心轴,所述研磨液管路(6)位于所述第一环形凹槽(503)的正上方,所述吹扫气管路(12)和所述冲洗液管路(11)的下端位于所述吸盘主体(5)的外侧。

2.如权利要求1所述的吸擦一体式擦头装置,其特征在于,所述负压腔(504)的表面为圆弧形曲面。

3.如权利要求1所述的吸擦一体式擦头装置,其特征在于,所述安装孔(506)为螺纹孔,所述吸盘芯(16)的上端外表面设有外螺纹,所述吸盘芯(16)与所述吸盘主体(5)螺纹连接。

4.如权利要求1所述的吸擦一体式擦头装置,其特征在于,所述吸盘芯(16)的下端中心还设有分气圆台(162),所述分气圆台(162)与所述分气盘(161)之间形成环形通气槽,所述分气圆台(162)上设有与所述第二通气孔(165)连通的第二径向排气孔(164),且所述第二径向排气孔(164)与所述第一径向排气孔(163)在径向一一对应。

5.如权利要求1所述的吸擦一体式擦头装置,其特征在于,所述吸盘芯(16)的上端面还设有第二环形凹槽(166),所述第二环形凹槽(166)围设在所述第二通气孔(165)的外周,所述第二环形凹槽(166)内设有密封圈。

6.如权利要求1所述的吸擦一体式擦头装置,其特征在于,还包括:

吸盘底板(17),固设于所述吸盘主体(5)的下表面上;所述吸盘底板(17)上设有与所述第一研磨液排出孔(505)连通的第二研磨液排出孔(173),所述吸盘底板(17)的中心设有与所述负压腔(504)的开口同心的第三通气孔(172);以及

抛光毛毡(18),固设于所述吸盘底板(17)的下表面上,所述抛光毛毡(18)上设有与所述第二研磨液排出孔(173)连通的第三研磨液排出孔(182),所述抛光毛毡(18)的中心设有与所述第三通气孔(172)同心的第四通气孔(181)。

7.如权利要求6所述的吸擦一体式擦头装置,其特征在于,所述吸盘底板(17)与所述吸盘主体(5)的固定结构包括:所述吸盘底板(17)的上面均匀设有多个固定柱(171),所述吸盘主体(5)的下表面设有多个适配所述固定柱(171)的固定孔(507),所述吸盘主体(5)的外周还设有径向连通所述固定孔(507)的锁紧孔(508),所述固定柱(171)插接于所述固定孔(507)内,并通过径向螺接于所述锁紧孔(508)的第一锁紧螺钉(13),将所述吸盘底板(17)与所述吸盘主体(5)固定在一起。

8.如权利要求1所述的吸擦一体式擦头装置,其特征在于,还包括吸盘罩(4),所述吸盘罩(4)上设有中心孔(401),所述中心孔(401)与所述第一通气孔(501)同轴;所述吸盘罩(4)固设在所述安装圆台(502)上,所述吸盘罩(4)与所述安装圆台(502)之间设有弹性缓冲件(19)。

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