[发明专利]芯片测试系统在审
申请号: | 202310081752.4 | 申请日: | 2023-01-31 |
公开(公告)号: | CN116047270A | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | 邹彤鑫;黄序 | 申请(专利权)人: | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 张亚静 |
地址: | 201203 上海市浦东新区中*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 测试 系统 | ||
1.一种芯片测试系统,其特征在于,包括:
测试板卡,包括多个第一电源通道、功能测试块和多个数字通道,多个所述第一电源通道和多个所述数字通道均用于与芯片连接,所述功能测试块用于对芯片进行功能测试;
高电压驱动板卡,包括多个第二电源通道,多个所述第二电源通道均用于与芯片连接。
2.如权利要求1所述的芯片测试系统,其特征在于,所述测试板卡包括48*3个数字通道。
3.如权利要求2所述的芯片测试系统,其特征在于,所有所述数字通道分为3个组,每个组包括48个数字通道。
4.如权利要求1所述的芯片测试系统,其特征在于,所述测试板卡包括36个第一电源通道。
5.如权利要求4所述的芯片测试系统,其特征在于,36个所述第一电源通道分为12个组,每个组包括三个第一电源通道。
6.如权利要求1所述的芯片测试系统,其特征在于,所述第一电源通道和所述第二电源通道的电流值相同或者不同。
7.如权利要求1所述的芯片测试系统,其特征在于,所有所述第一电源通道的电流均为直流电流。
8.如权利要求1所述的芯片测试系统,其特征在于,所有所述第二电源通道的电流均为直流电流。
9.如权利要求1所述的芯片测试系统,其特征在于,所有所述第一电源通道的电流值均相同。
10.如权利要求1所述的芯片测试系统,其特征在于,所有所述第二电源通道的电流值均相同。
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