[发明专利]微型装置的无掩模并行取放转印

权利要求书

1.一种用于在目标基板上定位微型装置的设备，所述设备包含：

第一支撑件，所述第一支撑件用于保持目标基板；

第二支撑件，所述第二支撑件用于提供或保持具有用于接收粘合剂层的表面的转印主体；

一或多个致动器，所述一或多个致动器被配置为提供所述第一支撑件和所述第二支撑件之间的相对运动；

照射系统，所述照射系统被配置为选择性地且无掩模地曝光所述转印主体上的所述粘合剂层的区域；及

控制器，所述控制器被配置为：

使所述一或多个致动器产生相对运动，使得附接至所述粘合剂层的多个微型装置接触所述目标基板，

使所述照射系统选择性地曝光所述粘合剂层的一或多个部分以产生一或多个中和部分，及

使所述一或多个致动器产生相对运动，使得所述表面和所述目标基板移动而远离彼此，并且对应于所述粘合剂层的所述一或多个中和部分的一或多个微型装置保留在所述目标基板上。

2.如权利要求1所述的设备，进一步包含第三支撑件，所述第三支撑件保持供体基板，其中所述一或多个致动器被配置成提供所述第一支撑件和所述第三支撑件之间的相对运动，并且其中所述控制器被配置成使所述一或多个致动器产生所述供体基板和所述转印主体之间的相对运动，使得当所述多个微型装置在所述供体基板上时，所述转印基板的所述表面上的所述粘合剂层接触所述多个微型装置，使得所述多个微型装置粘附至所述转印主体上的所述粘合剂层。

3.如权利要求2所述的设备，其中所述第二支撑件包含用于保持所述转印主体的机械臂，其中所述机械臂可操作以在所述第三支撑件和所述第一支撑件之间移动所述转印主体。

4.如权利要求1所述的设备，其中所述转印主体包含可从所述第二支撑件移除的转印基板。

5.如权利要求1所述的设备，其中所述照射系统包含具有可单独致动的镜的阵列的数字镜装置。

6.如权利要求5所述的设备，其中所述数字镜装置包含镜的二维阵列。

7.如权利要求6所述的设备，其中所述照射系统的视野仅跨越所述转印主体的一部分，并且致动器用于引起所述二维阵列和所述一或多个支撑件之间的相对运动。

8.如权利要求5所述的设备，其中所述数字镜装置包含镜的线性阵列及用于引起所述线性阵列和所述一或多个支撑件之间的相对运动的致动器。

9.一种表面安装微型装置的方法，包含：

将供体基板上的多个微型装置粘附至具有粘合剂层的转印表面上；

在所述多个微型装置保持粘附在所述转印表面上的同时从所述供体基板移除所述多个微型装置；

相对于目标基板定位所述转印表面使得所述转印表面上的所述多个微型装置中的至少一些微型装置邻接所述目标基板上的多个接收位置中的至少一些接收位置；

选择性地及无掩模地将所述转印表面上的所述粘合剂层的与微型装置的子集对应的多个区域曝光，以将微型装置的所述子集从所述粘合剂层脱离，所述子集包含复数个微型装置但少于所述多个微型装置中的所有微型装置；及

将所述转印表面与所述目标基板分离，使得微型装置的所述子集保留于所述目标基板上。

10.如权利要求9所述的方法，其中所述多个微型装置包含所述供体基板上的所有微型装置。

11.如权利要求9所述的方法，其中所述多个微型装置被设置在所述转印表面上的第一阵列中，并且所述多个接收位置被设置在所述目标基板上的第二阵列中。

12.如权利要求11所述的方法，其中所述第一阵列的空间密度大于所述第二阵列的空间密度。

13.如权利要求9所述的方法，其中所述微型装置包含微型LED。