[发明专利]球面激光棒的等效平行检测方法、装置和电子设备

说明书

本发明提供了一种球面激光棒的等效平行检测方法、装置和电子设备。其中，该方法应用于球面激光棒的等效平行检测系统，等效平行检测系统包括：激光器、光栅、测试位和接收器；该方法包括：通过标准的球面激光棒校准等效平行检测系统；将待测的球面激光棒放置于校准后的等效平行检测系统的测试位，确定待测的球面激光棒的偏移量；基于偏移量确定待测的球面激光棒的等效平行的偏移角度。可以定量检测球面激光棒两端面的等效平行的偏移角度，提高检测的效率和准确性。

技术领域

本发明涉及激光器技术领域，尤其是涉及一种球面激光棒的等效平行检测方法、装置和电子设备。

背景技术

固体激光器是由工作物质、激励源(光泵)、光学共振腔三个部分组成。其中，固体激光器的工作物质多为掺有杂质元素的晶体或玻璃。最常见的固体激光器有红宝石激光器、钕玻璃激光器、掺钕钇铝石榴石激光器等，固体激光器的工作物质的主要形态为两端面抛光的棒状。激励源的作用是给工作物质以能量，即将掺杂原子由低能级激发到高能级，实现粒子束反转。

光学共振腔是激光器的重要部件，其作用一是使工作物质的受激辐射连续进行；二是不断给光子加速；三是限制激光输出的方向。最简单的光学共振腔是由放置在工作物质两端的两个相互平行的反射镜组成。这两个互相平行的反射镜，一个反射率接近100％，即完全反射，另一个为半反射率，激光形成过程需要在腔内多次来回反射直直起振从后一个半反射镜射出的形成激光，因此调节前后反射镜平行或等效平行尤为重要，因为平行或等效过差会直接导致激光在起振前溢出激光系统导致激光系统不出激光。

应固体激光器小型化需求，需将工作物质和光学共振腔合并来实现。实现的方式是通过在棒状工作物质的两端镀全反射膜和半反射膜实现，对于平平腔(即两端面均为平面)而言可以直接采用现有的内调焦望远镜来检测两端面是否平行，但对应其余光学共振腔型(平凹，平凸，凹凸，双凹)需要将工作物质两端加工成相应曲率的表面，因此两端面的等效平行检测便成为一大难题。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种球面激光棒的等效平行检测方法、装置和电子设备，以定量检测球面激光棒两端面的等效平行的偏移角度，提高检测的效率和准确性。

第一方面，本发明实施例提供了一种球面激光棒的等效平行检测方法，应用于球面激光棒的等效平行检测系统，等效平行检测系统包括：激光器、光栅、测试位和接收器；方法包括：通过标准的球面激光棒校准等效平行检测系统；将待测的球面激光棒放置于校准后的等效平行检测系统的测试位，确定待测的球面激光棒的偏移量；基于偏移量确定待测的球面激光棒的等效平行的偏移角度。

在本申请可选的实施例中，上述测试位包括：测试平台和V型槽，接收器包括：测试平台和带刻度的圆环。

在本申请可选的实施例中，上述通过标准的球面激光棒校准等效平行检测系统的步骤，包括：打开激光器，调整光栅的大小；将标准的球面激光棒放置于测试位；调节测试位的位置和接收器的位置；旋转标准的球面激光棒，确定接收器的出射斑点无偏移，等效平行检测系统校准完毕。

在本申请可选的实施例中，上述调整光栅的大小的步骤，包括：调整光栅的大小以使入射光斑小于标准的球面激光棒的直径；上述调节测试位的位置和接收器的位置的步骤，包括：调节测试位的位置以使入射光全部通过标准的球面激光棒；调节接收器的位置以使出射的激光斑点位于接收器的带刻度的圆环的中心。

在本申请可选的实施例中，上述将待测的球面激光棒放置于校准后的等效平行检测系统的测试位，确定待测的球面激光棒的偏移量的步骤，包括：将待测的球面激光棒放置于校准后的等效平行检测系统的测试位，打开激光器；旋转待测的球面激光棒一周，确定接收器的待测的球面激光棒的出射斑点的最大偏移尺寸为待测的球面激光棒的偏移量。