[发明专利]一种新型的防止硅片烧结的喷淋装置在审
| 申请号： | 202310095440.9 | 申请日： | 2023-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN116078733A | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 尹文宝;王维师;王锴;菅明辉;曹锦伟;李仕权;孙晨光;王彦君 | 申请（专利权）人： | 中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;B05B15/68;B24B41/00 |
| 代理公司： | 苏州高专知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32474 | 代理人： | 冷泠 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 防止 硅片 烧结 喷淋 装置 | ||
1.一种新型的防止硅片烧结的喷淋装置，包括立柱(9)，其特征在于：所述立柱(9)的顶部设置有第一支撑件(12)，所述第一支撑件(12)的顶部一侧设置有第二支撑件(1)，所述第二支撑件(1)的底部一侧设置有喷头(2)，所述喷头(2)的下方设置有升降台(6)，所述升降台(6)的表面开设有检测槽(5)，所述检测槽(5)的内侧设置有红外传感器(4)，所述升降台(6)的底部设置有电动升降柱(7)。
2.根据权利要求1所述的一种新型的防止硅片烧结的喷淋装置，其特征在于：所述电动升降柱(7)和立柱(9)的底部皆设置有定位座(8)，且定位座(8)的底部皆设置有吸盘(14)。
3.根据权利要求1所述的一种新型的防止硅片烧结的喷淋装置，其特征在于：所述第二支撑件(1)的两侧皆设置有防护板(3)，所述防护板(3)的长度与第二支撑件(1)的长度相等。
4.根据权利要求1所述的一种新型的防止硅片烧结的喷淋装置，其特征在于：所述第一支撑件(12)、第二支撑件(1)和喷头(2)对应位置处皆设置有连接孔(13)，且连接孔(13)的内侧皆贯穿设置连接栓(11)。
5.根据权利要求1所述的一种新型的防止硅片烧结的喷淋装置，其特征在于：所述第一支撑件(12)的一侧设置有固定板(10)，且固定板(10)和立柱(9)之间通过连接孔(13)和连接栓(11)连接。
6.根据权利要求1所述的一种新型的防止硅片烧结的喷淋装置，其特征在于：所述喷头(2)的形状构造设置为实心锥形体，且第一支撑件(12)和第二支撑件(1)对应开设的连接孔(13)数量为三个。
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