[发明专利]碳纤维载板的清洗方法及清洗系统

说明书

本发明提供了一种碳纤维载板的清洗方法及清洗系统，属于太阳能电池制作技术领域，包括：将碳纤维载板放到载板支撑架上；抓取机械手将载板支撑架提起，并传输到碱洗槽进行碱洗；经碱洗后的碳纤维载板通过抓取机械手放入喷淋槽进行水洗；经水洗后再放入酸洗槽进行酸洗；酸洗后的碳纤维板再放入溢流槽进行水洗；水洗干净后运至烘干槽进行烘干。本发明提供的碳纤维载板的清洗方法，抓取机械手将载板支撑架提起放入碱洗槽内，洗去表面杂质，抓取机械手自动提到喷淋槽，可初步碳纤维载板表面药液及杂质冲洗干净；经酸洗槽去除残留药液，到溢流槽完全把碳纤维载板洗净，最后烘干。通过抓取机械手的操作，无需人员劳动和靠近，既节省了人力又保证了安全。

技术领域

本发明属于太阳能电池制作技术领域，具体涉及一种碳纤维载板的清洗方法及清洗系统。

背景技术

太阳能电池目前的主流扩产技术是TOPCon技术，即Tunnel Oxide PassivatedContact技术，是一种新型钝化接触技术，该技术在电池表面使用一层超薄的氧化层和掺杂的薄膜硅进行钝化。超薄氧化硅减少了表面态，保持了较低的隧穿电阻，掺杂薄膜硅提供了场致钝化并对载流子选择性透过，与硅基底形成良好的钝化接触。TOPCon电池是目前高效N型电池的发展趋势。

TOPCon工艺路线除了LPCVD(LPCVD--Low Pressure Chemical Vapor Deposition低压力化学气相沉积法)和PECVD(等离子体增强化学气相淀积)路线，还有一种PVD(Physical Vapor Deposition的缩写，物理气相沉积)路线也在极速扩产。PVD工艺过程具体为：制绒、硼扩散、BSG碱抛、PVD、BOE、ALD、正面SiNx、背面SiNx、印刷烧结、注入、测试分选。作为PVD工装的碳纤维载板在使用一定次数后，表面沉积一层Poly-Si后，需要清洗才能使用。

目前，碳纤维载板的清洗过程需要手动操作，除了效率低下，最主要是具有安全隐患，因为配液和放入载板时容易接触到有腐蚀性的酸，造成人员受伤。

发明内容

本发明实施例提供一种碳纤维载板的清洗方法及清洗系统，旨在减少手动清洗操作，降低劳动强度，提升工作效率，降低安全隐患。

第一方面，为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：提供一种碳纤维载板的清洗方法，所述清洗方法包括：

将待清洗的碳纤维载板摆放到载板支撑架上；

抓取机械手将载板支撑架提起，并传输到碱洗槽进行碱洗；

经碱洗后的碳纤维载板通过抓取机械手放入喷淋槽进行水洗；

碳纤维载板经水洗后再放入酸洗槽进行酸洗；

酸洗后的碳纤维板再放入溢流槽进行水洗；

水洗干净后运至烘干槽进行烘干。

结合第一方面，在一种可能的实现方式中，所述碱洗槽内的碱液为氢氧化钠溶液，氢氧化钠浓度控制在5-10％，碱洗时间范围为7200-8400S，碱液控制温度范围为70-80℃。

结合第一方面，在一种可能的实现方式中，所述碱洗槽上设有补液管，每900S补液2L；补入的液体经预热后补入。

结合第一方面，在一种可能的实现方式中，在所述喷淋槽内对碳纤维载板先喷淋冲洗，将冲洗的药液通过底部设置的快排口，快速排出槽体；再注满纯水，使碳纤维载板浸泡在水中清洗。

结合第一方面，在一种可能的实现方式中，喷淋时间范围为300-600S，快排时间为25-35S；快排完成后重新注满纯水，浸泡时间为7200-8400S。

结合第一方面，在一种可能的实现方式中，所述酸洗槽内采用盐酸药液与碳纤维载板上残留的碱液反应，酸洗浸泡时间为7200-8400S；并每900S补液2L。