[发明专利]一种硅片自动撕膜机及硅片下料系统

权利要求书

1.一种硅片自动撕膜机，其包括工作台、设置于工作台的移载机构（1），所述移载机构（1）用于吸附并移载附膜硅片（10），所述附膜硅片（10）的背面贴装有保护膜，所述保护膜的两侧边沿设置有若干间隔分布的凸块（101），所述凸块（101）凸出于所述附膜硅片（10）的边沿，其特征在于，所述工作台上还设置有卷膜机构（2），所述卷膜机构（2）包括第一安装座（21）、转动安装于第一安装座（21）的顶端侧板的卷轴（22）、驱动卷轴（22）转动的卷轴驱动装置（23），所述卷轴（22）用于夹紧所述保护膜并将所述保护膜绕卷至卷轴（22）上，每个所述卷轴（22）由两个半轴对应组成，通过两个半轴相对运动实现膜片上凸块的夹紧；

所述卷轴（22）包括至少两组，各所述卷轴（22）平行间隔安装于所述第一安装座（21）的顶端侧板，并分别通过相应的卷轴驱动装置（23）驱动，所述卷轴驱动装置（23）均包括：分布于卷轴一侧的第一气动夹爪气缸（231）与第一旋转电机（232）、用于安装第一旋转电机（232）的第三安装座（233）、分布于该卷轴另一侧的第二气动夹爪气缸（234）与滑环，所述第一旋转电机（232）的壳体通过第三安装座（233）固定于所述第一安装座（21）一侧顶端侧板的外侧端，所述第一旋转电机（232）的转轴依次贯穿所述第三安装座（233）中部的轴承座、顶端侧板中部的轴承座后，与相应卷轴一侧端的第一气动夹爪气缸的缸体固接，同一所述卷轴（22）中两个半轴的一端分别固装于相应第一气动夹爪气缸（231）的两个夹爪，两个半轴的另一侧端分别固装于相应第二气动夹爪气缸（234）的两个夹爪，所述第二气动夹爪气缸（234）通过所述滑环安装于所述第一安装座（21）另一侧顶端侧板的内侧端；

所述移载机构（1）包括第一横向移动模组（11）、安装于第一横向移动模组（11）的滑块的第二安装座（12）、转动安装于第二安装座（12）的第一安装板（131），所述第一安装板（131）底端安装有若干组吸盘组件，每组所述吸盘组件包括至少三个不在同一直线的吸盘，所述吸盘的吸附端与附膜硅片的正面对应，用于吸附附膜硅片；

撕膜的步骤包括：A1、通过所述移载机构（1）中的吸盘组件吸附附膜硅片，并将附膜硅片（10）移载至所述卷膜机构（2）的上方；

A2、吸附单元（13）转动，使所述保护膜上的凸块与所述卷膜机构（2）中相应卷轴（22）的两个半轴相对运动前的间隙对应；

A3、所述卷轴（22）中的两个半轴相对运动，夹紧膜片上的凸块；

A4、卷轴驱动装置（23）驱动卷轴（22）转动，将膜片卷绕于卷轴（22）上。

2.根据权利要求1所述的硅片自动撕膜机，其特征在于，所述第一安装板（131）通过旋转组件（14）转动安装于所述第二安装座（12）底部的第二安装板（138），所述旋转组件（14）包括第一直线气缸（141）、第一连杆（142）、两个第二连杆（143）、限位螺栓（144）、第三连杆（145），所述第一直线气缸（141）的缸体固定于所述第二安装板（138）的顶端，所述第二安装板（138）的中部开设有第一腰型孔（146），所述第一连杆（142）的一端贯穿所述第一腰型孔（146）后与所述第一直线气缸（141）的活塞杆端部铰接，所述限位螺栓（144）固定于所述第二安装板（138）顶端且与所述第一连杆（142）的侧端对应，所述第一安装板（131）分别通过第三连杆（145）与所述第二安装板（138）转动连接，所述第三连杆（145）的一端分别垂直固定于相应第一安装板（131）的顶端、另一端与所述第二安装板（138）的底端铰接，两个所述第二连杆（143）平行且分别垂直铰接于所述第三连杆（145）两侧端中部。

3.根据权利要求2所述的硅片自动撕膜机，其特征在于，同一卷轴（22）中两个半轴的内侧端分别安装有两排磁铁（220），每排中的磁铁（220）间隔设置，其中一半轴内侧端的磁铁为N极磁铁，另一半轴内侧端的磁铁为S极磁铁，所述N极磁铁与所述S极磁铁一一对应设置。