[发明专利]一种具有腔体自动压力平衡组件的晶圆设备及运行方法

权利要求书

1.一种具有腔体自动压力平衡组件的晶圆设备，其特征在于，包括：

传送模块(30)，该传送模块(30)一侧设置有两个工艺腔(60)，每个工艺腔(60)处设置有门板(50)，工艺腔(60)的一侧设置有压力平衡组件(40)，门板(50)上设置有门阀(700)；

压力平衡组件(40)包括连通于工艺腔(60)的第一连接管(44)、与第一连接管(44)连接的大气开关(41)及第二连接管(43)及设置于第二连接管(43)上的平衡阀(42)。

2.如权利要求1所述的一种具有腔体自动压力平衡组件的晶圆设备，其特征在于，工艺腔(60)位于压力平衡组件(40)的一侧设置有射频管件(80)、工艺气体管件(70)及氮气管件(90)，所述氮气管件(90)上设置有充气阀(100)。

3.如权利要求2所述的一种具有腔体自动压力平衡组件的晶圆设备，其特征在于，工艺腔(60)与压力平衡组件(40)相对的一侧设置有压力机(200)、与压力机(200)并排设置的压力控制器(300)、快抽阀(400)及真空泵(500)，快抽阀(400)及真空泵(500)上并联有慢抽阀(600)。

4.如权利要求1-3所述的任一一种具有腔体自动压力平衡组件的晶圆设备的运行方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、工艺腔(60)在真空状态下完成工艺准备晶圆取出；

S2、通过打开氮气充气阀(100)充入高纯氮气；

S3、大气开关(41)侦测到到达大气压力；

S4、打开平衡阀(42)，使工艺腔(60)压力与大气压力平衡；

S5、采用延时，再继续开启氮气充气阀(100)，使工艺腔(60)大于环境压力；

S6、采用延时，再打开门阀(700)；

S7、通过机械手将晶圆取出。

5.如权利要求4一种具有腔体自动压力平衡组件的晶圆设备的运行方法，其特征在于，步骤S5中的延时时间为1-10秒。

6.如权利要求5一种具有腔体自动压力平衡组件的晶圆设备的运行方法，其特征在于，步骤S6中的延时时间为1-3秒。